热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析

• 作者: 刘实 周德惠 季锡林 李依依 李建国 梅军 胡东平
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 耦合模型 空间场 模拟计算
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 437-443
• 页数: 7页
• 分类号: TB383
• 字数: 5148字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2005.04.020

摘要

根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数,建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型.利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算,研究了沉积参数对空间场的影响.结果表明,衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合.只有气体进口速度对质量流密度的均匀性影响最大,其它沉积参数对衬底温度的均匀性、质量流密度的均匀性影响不大.从热丝阵列的最低温度出发,优选出沉积100 mm×100 mm、高质量金刚石薄膜比较适宜的热丝几何参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周德惠	中国工程物理研究院结构力学研究所	35	727	17.0	26.0
2	李建国	中国科学院金属研究所	91	924	17.0	27.0
4	李依依	中国科学院金属研究所	85	1251	21.0	32.0
5	胡东平	中国工程物理研究院结构力学研究所	15	79	6.0	8.0
8	梅军	中国工程物理研究院结构力学研究所	30	240	9.0	14.0
9	刘实	中国科学院金属研究所	38	295	10.0	15.0
10	季锡林	中国工程物理研究院结构力学研究所	6	50	5.0	6.0