光栅光阀的应用、模拟技术和发展趋势

• 作者: 余洪斌 李俊 王忠 陈海清
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光栅光阀 MEMS模拟 有限元分析
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 3638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.07.004

摘要

光栅光阀(GLV)是一种基于微机电系统技术的新型微型反射光栅,在静电力的作用下微梁弯曲,从而获得所需要的光强分布.讨论了GLV的原理,结合其特点给出GLV的典型应用;比较了两种常用的计算机模拟方法,最后讨论了GLV的发展新趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电系	95	682	14.0	18.0
2	李俊	华中科技大学光电系	117	1116	16.0	30.0
3	余洪斌	华中科技大学光电系	23	160	8.0	11.0
4	王忠	华中科技大学光电系	13	140	6.0	11.0