真空退火Fe/Pt多层膜的结构和磁性

• 作者: 朱逢吾 李宝河 杨涛 翟中海 黄阀
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: L10-FePt有序相 磁控溅射 有序度 Fe/Pt多层膜
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: O469
• 字数: 2657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.009

摘要

采用直流磁控溅射方法制备了Fe/Pt多层膜和FePt单层薄膜,并在不同温度下真空热处理得到了有序相L10-FePt薄膜.研究表明,Fe/Pt多层膜化可以降低FePt薄膜有序相的转变温度.[Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]13薄膜在350℃热处理后,有序度已经增加到0.6,而且矫顽力达到了501kA/m.多层膜化促进有序化在较低的温度下进行,这主要是因为原子在多层膜界面扩散更快.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝河	北京科技大学材料物理与化学系	43	158	6.0	9.0
3	朱逢吾	北京科技大学材料物理与化学系	54	229	8.0	12.0
4	黄阀	北京科技大学材料物理与化学系	7	19	3.0	4.0
10	杨涛	北京科技大学材料物理与化学系	19	65	5.0	7.0
11	翟中海	北京科技大学材料物理与化学系	9	23	3.0	4.0