AZ5214E反转光刻胶的性能研究及其在剥离工艺中的应用

• 作者: 于映 吴清鑫 罗仲梓 陈光红
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: AZ5214E 反转:剥离
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 431-433,440
• 页数: 4页
• 分类号: TM38
• 字数: 2188字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.03.036

摘要

研究了AZ52ME反转光刻胶的性能并选择适当的工艺可制得利于剥离的倒台面,并将其应用于射频MEMS开关的制作中剥离厚2μm的金薄膜.用扫描电镜(SEM)测出胶的侧壁为倒台面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗仲梓	厦门大学萨本栋微机电中心	15	225	7.0	15.0
2	于映	福州大学电子系	36	343	8.0	17.0
3	陈光红	福州大学电子系	2	74	2.0	2.0
4	吴清鑫	福州大学电子系	3	95	3.0	3.0