MOS器件界面态与陷阱电荷分离方法研究

• 作者: 何玉娟 师谦 李斌 林丽 罗宏伟
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 界面态 氧化层陷阱电荷 电荷分离方法 辐照效应
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 可靠性物理与失效分析技术
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2006.04.008

摘要

对MOS结构器件,要分离由辐射效应引起的界面态电荷与氧化层陷阱电荷的方法有很多种,如中电带压法、电荷泵法和双晶体管法就是目前比较常用、有效的方法,分析了这些方法的优点和局限性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宏伟		16	122	6.0	10.0
2	师谦		11	110	7.0	10.0
3	李斌	华南理工大学微电子研究所	128	542	12.0	17.0
4	林丽		5	28	2.0	5.0
6	何玉娟		3	41	3.0	3.0