光刻胶的发展及应用

• 作者: 郑金红
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 光刻胶 感光剂
• 年，卷（期）: 2006,（16）
• 所属期刊栏目: 市场资讯
• 页码范围: 24-30
• 页数: 7页
• 分类号: TQ43
• 字数: 8390字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1100.2006.16.008

摘要

主要介绍了国内外光刻胶的发展历程及应用情况,分析了国内外光刻胶市场状况及未来走向,并在此基础上阐述了我国光刻胶今后的研发重点及未来的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑金红		5	147	5.0	5.0