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摘要:
系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,通过大量实验总结出了其影响因素并提出了优化方案.结果表明,采用粒径为40nm、低分散度的SiO2溶胶磨料并配合以适当参数进行抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率,能够有效提高蓝宝石表面的性能及加工效率.
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文献信息
篇名 蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺研究
来源期刊 纳米科技 学科 工学
关键词 蓝宝石 化学机械抛光 纳米硅溶胶
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目 纳米加工工艺
研究方向 页码范围 45-48
页数 4页 分类号 TB34|TQ02
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵之雯 福建工程学院电子信息与电气工程系 5 19 4.0 4.0
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纳米科技
双月刊
1812-1918
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