硅凹槽中硅反蛋白石光子晶体直角半波导的制备

• 作者: 李宇杰 许静 谢凯 韩喻
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 三维光子晶体 反蛋白石结构 Si凹槽 直角波导
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 481-485
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 3242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.06.006

摘要

探索了利用PECVD方法和ICP技术制备硅凹槽中硅反蛋白石(opal)结构光子晶体直角半波导的工艺条件,研究了射频功率、气体流量、反应室压力、沉积时间等PECVD工艺条件及基底状态对填充效果的影响.结果表明,降低沉积速率有利于在蛋白石结构内外均匀填充,同时在自由基扩散通道不被堵塞的前提下,增加沉积时间及蛋白石结构的规整程度,有助于反opal结构的形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩喻	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	20	190	7.0	13.0
2	谢凯	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	56	590	12.0	22.0
3	许静	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	18	78	5.0	8.0
4	李宇杰	国防科学技术大学材料工程与应用化学系	16	75	5.0	7.0