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3D叠层封装集成电路的芯片分离技术
3D叠层封装
集成电路
芯片分离技术
区域研磨法
化学腐蚀法
先进集成电路制造的圆片级可靠性系统
集成电路
圆片级可靠性
封装可靠性
基于TSV技术的CIS芯片晶圆级封装工艺研究
3DIC
CIS
TSV
晶圆级封装工艺流程
化学镀
镍滋生
VLSI圆片级可靠性技术
圆片级可靠性技术
金属化完整性
氧化层完整性
连接完整性
热载流子注入
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于系统级封装和3D互连的圆片间及芯片-圆片的集成技术
来源期刊 电子工业专用设备 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(3) 所属期刊栏目 企业与产品介绍
研究方向 页码范围 67
页数 1页 分类号
字数 572字 语种 中文
DOI
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相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
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3731
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31
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