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摘要:
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微电子机械系统的几个力学问题
微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
弹塑性一粘着接触力学
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微电子机械系统
来源期刊 科学(上海) 学科
关键词 微电子机械系统 微系统技术 微传感器
年,卷(期) 2008,(6) 所属期刊栏目 知识讲堂
研究方向 页码范围 47-49
页数 3页 分类号
字数 3337字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.0368-6396.2008.06.014
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈迪 上海交通大学微纳科技研究院 38 301 8.0 16.0
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2019(1)
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
微系统技术
微传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科学(上海)
双月刊
0368-6396
31-1385/N
上海钦州南路71号
chi
出版文献量(篇)
2297
总下载数(次)
11
总被引数(次)
4588
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