链状碳纳米管薄膜的制备及场发射特性研究

• 作者: 史新伟 姚宁 张兵临 李全友 王执乾 秦玉华 高金海
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳纳米管 微波等离子体化学气相沉积 场发射
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: O462.4
• 字数: 2047字
• 语种: 中文

摘要

以镀有Ti层的Al2O3为衬底,在微波等离子体化学气相沉积系统中,以CH4和H2为反应气体,快速制备了链状碳纳米管薄膜(沉积时间仅1 min).通过SEM、TEM和Raman光谱观察了薄膜的表面形貌,分析了薄膜的微观结构.在高真空室中测试了薄膜场发射特性,其开启电场为0.81 V/μm,在3.15 V/μm 电场下,其场发射电流密度达到9 mA/cm2,发射稳定,是一种良好的电子发射体.