脉冲激光沉积（PLD）法生长纳米ZnO薄膜的探索

• 作者: 仇旭升 刘炳龙 孔明光 梁齐 汪壮兵 章伟 谢可可 马渊明
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米薄膜 PLD XRD
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1

摘要

在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜。实验制备ZnO纳米结构，其颗粒尺寸的控制是关键。通过改变衬底温度（400-700℃）和沉积时间，获得不同的ZnO纳米结构。SEM观察，在600℃时颗粒均匀且间隔明显，且该薄膜结构为不连续膜，这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异。XRD显示，600-700℃结晶良好。