基于MEMS技术的SU-8胶被动微阀片的设计与研制

• 作者: 崔大付 耿照新 马小玲
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微阀 有限元 SU-8
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 343-348
• 页数: 6页
• 分类号: TH302
• 字数: 3933字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.05.006

摘要

为解决微流体在微流控芯片上的单向流动,进而实现生化反应的片上系统,采用微机电系统(MEMS)技术加工出SU-8胶微型阀片.SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点.从理论上分析了不同厚度(10 μm,15 μm,20 μm,25 μm)的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布,在相同尺寸和压力下,SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右.讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性,可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素.给出了加工工艺,测试了阀片的正反向过流性能,以水作为工作物质,得到3种厚度阀片的过流曲线,其最大正向流速达到7 000μL/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
2	马小玲	中央民族大学信息工程学院	15	78	4.0	8.0