新型金属源/漏工程新进展

• 作者: 尚海平 徐秋霞
• 来源期刊: 微电子学
• 学科: 工学
• 关键词: MOSFET 短沟道效应 金属源/漏 金属硅化物 肖特基势垒调节 肖特基势垒源/漏
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 524-529
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.5
• 字数: 2558字
• 语种: 中文

摘要

当MOSFET器件的栅长缩小到纳米尺度以后,金属源/漏(S/D)结构具有一系列的优点:原子级突变结能够抑制短沟道效应(SCE),低S/D串联电阻和接触电阻,S/D形成的低温工艺适宜集成高k栅介质、金属栅和应变硅等新材料,使之成为掺杂硅S/D结构最有希望的替代者.文章主要介绍形成低肖特基势垒高度(SBH,Schottky Barrier Height)结材料的选择,以及采用杂质分凝、界面工程和应变工程等肖特基势垒调节技术的主要制备工艺和势垒调节机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐秋霞	中国科学院微电子研究所	37	108	6.0	8.0
2	尚海平	中国科学院微电子研究所	2	8	1.0	2.0