硅烷法制备非晶硅粉的晶化研究

• 作者: 姚剑 姚奎鸿 徐敏 朱成良 杨红 马照军
• 来源期刊: 浙江理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 非晶硅粉 退火 晶化
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米材料
• 页码范围: 207-209
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 2024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3851.2008.02.020

摘要

研究不同温度下硅烷分解所制备的非晶硅粉的晶化规律.对非晶硅粉采用不同的温度进行退火处理使其晶化,用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外可见吸收谱(UV)进行分析.结果表明:当退火温度高于750℃,硅粉开始晶化;温度低于750℃时,硅粉较难结晶.通过Scherrer 公式计算,结合SEM和UV验证表明:750℃时,非晶硅粉晶化并不完全,退火后颗粒大小约为200nm.紫外可见光谱分析得到退火后光学带隙为1.5 eV左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚奎鸿	浙江理工大学材料工程中心	47	201	10.0	12.0
2	杨红	浙江理工大学材料工程中心	10	29	3.0	5.0
3	朱成良	浙江理工大学材料工程中心	6	17	2.0	4.0
4	马照军	浙江理工大学材料工程中心	9	28	2.0	5.0
5	姚剑	浙江理工大学材料工程中心	7	10	2.0	3.0
6	徐敏	浙江理工大学材料工程中心	9	66	4.0	8.0