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摘要:
采用Cu-Ni/Solder/Ni-Cu互连结构,在加载的电流密度为0.4×104 A/cm2的条件下,得到了界面阴极处金属原子的电迁移.数值模拟揭示了其原因是由于凸点互连结构的特殊性,电子流在流经凸点时会发生流向改变进而形成电流聚集,此处的电流密度超过电迁移的门槛值,从而诱发电迁移.运用高对流系数的热传导方法降低了互连焊点的实际温度,在电迁移的扩展阶段显著减小了高温引起的原子热迁移对电迁移的干扰;因此电迁移力是原子迁移的主要驱动力.在电迁移的快速失效阶段,原子的迁移是热迁移和电迁移共同作用的结果:电迁移力驱动阴极处原子的迁移,造成局部区域的快速温升,从而加剧此处原子的热迁移.
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表面结构
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Cu-Ni/Solder/Ni-Cu互连结构的电迁移
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 SnCu焊料 Ni-Cu层 电迁移 金属间化合物
年,卷(期) 2008,(1) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 174-178
页数 5页 分类号 TB331
字数 4081字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.01.033
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴懿平 13 122 7.0 10.0
2 吴丰顺 7 79 6.0 7.0
3 张金松 1 17 1.0 1.0
4 奚弘甲 1 17 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
SnCu焊料
Ni-Cu层
电迁移
金属间化合物
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
35317
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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