冰洲石晶体的化学机械抛光研究

• 作者: 王善军 王永宪 王海鹏 薛军
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 物理学
• 关键词: 冰洲石 化学机械抛光 工艺技术 性能测试
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 学术交流
• 页码范围: 117-118
• 页数: 2页
• 分类号: O482.3
• 字数: 1858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2008.08.063

摘要

针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺.在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试.结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永宪	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	50	4.0	7.0
2	薛军	中国人民解放军装甲兵技术学院机械工程系	20	80	5.0	8.0
3	王海鹏	中国人民解放军装甲兵技术学院机械工程系	12	1	1.0	1.0
4	王善军	中国人民解放军装甲兵技术学院机械工程系	14	158	2.0	12.0