交流永磁伺服系统技术讲座 第六讲(五) 伺服控制系统中的传感器

• 作者: 赵希梅 郭庆鼎
• 来源期刊: 伺服控制
• 学科: 工学
• 关键词: 透射光栅 莫尔条纹 光电元件 计量光栅 位置检测装置 读数头 栅距 线纹 硅光电池 刻线
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 100-102
• 页数: 3页
• 分类号: TM921.541

摘要

3.5光栅光栅是利用光的反射、透射和干涉现象制成的一种光电检测装置,有物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线比较细密,两刻线之间距离(称为栅距)在0.002～0.005mm 之间,它通常用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅刻线较粗,栅距在0.004～0.025mm 之间,在数字检测系统中,通常用于高精度位移的检测,是数控系统中应用较多的一种检测装置,尤其是在闭环伺服系统

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭庆鼎	沈阳工业大学电气工程学院	248	2792	28.0	40.0
2	赵希梅	沈阳工业大学电气工程学院	121	627	15.0	22.0