直流磁控溅射法低温制备ZnO:Ti透明导电薄膜及特性研究

• 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁玉珍 袁长坤
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO:Ti薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 823-826
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.06.010

摘要

利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜.SEM和XRD研究结果表明,ZnO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.厚度为437 nm薄膜的电阻率为1.73×10~(-4) Ω·cm.所制备薄膜具有良好的附着性能,薄膜样品在500～800 nm的可见光平均透过率都超过了91%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁玉珍	山东理工大学理学院	26	159	7.0	11.0
2	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
3	张化福	山东理工大学理学院	52	292	11.0	13.0
4	类成新	山东理工大学理学院	48	201	8.0	10.0
5	袁长坤	山东理工大学理学院	23	126	6.0	10.0