线阵InGaAs光谱谱线定标方法的应用

• 作者: 张霞 陶珺
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤光栅传感解调 线阵 谱线波长 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 1192-1194,1223
• 页数: 4页
• 分类号: TN76
• 字数: 2824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2009.12.011

摘要

根据光纤光栅传感解调系统中检测中心波长偏移的特点,提出了一种利用线阵InGaAs作为光谱接收器件的波长解调系统,光谱谱线定位受系统中透射光栅狭缝和线阵InGaAs像元尺寸大小的影响,需要对该解调系统进行标定.在分析线阵InGaAs成像模型的基础上,用最小二乘法进行曲线拟和,获得谱线波长与线阵光电探测器阵列像元之间定位的数值计算方法,以确定光谱线在线阵InGaAs上的精确定位,使光谱谱线的定位精度得到提高.实验结果证明了该方法的可行性和有效性,提高了解调系统的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶珺	武汉理工大学理学院物理系	12	47	4.0	6.0
2	张霞	华中科技大学数字化工程中心	24	127	8.0	10.0