基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
本文研究了采用射频溅射法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备硫化钨薄膜.实验分别采用了不同的溅射功率、工作气压和沉积时间来制备样品.之后对三组样品分别进行物相分析、表面形貌观察、测定微区化学成分、结合力和摩擦系数.结果表明:通过射频溅射法可获得非晶态WS2薄膜,薄膜的S/W比一般小于2,并受溅射工艺影响较为明显,随着溅射功率的升高逐渐降低,随着溅射时间的延长明显升高.薄膜结合力受溅射工艺影响并不显著.通过射频溅射所获得薄膜的摩擦系数在一定范围内与其硫钨比成反比.
推荐文章
射频磁控溅射法制备硼薄膜
硼薄膜
射频磁控溅射
制备
形貌表征
成分分析
射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究
聚氟材料
射频磁控溅射
电子二次倍增效应
靶材密度对射频磁控溅射法制备ITO薄膜性能的影响
氧化锡铟(ITO)
靶材密度
薄膜
射频磁控溅射
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 射频溅射法制备硫化钨固体润滑薄膜的研究
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 二硫化钨 射频溅射 溅射工艺 化学成分 摩擦系数
年,卷(期) 2009,(3) 所属期刊栏目 技术交流
研究方向 页码范围 277-281
页数 5页 分类号 TB752|TQ174
字数 3140字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.03.11
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 巴德纯 东北大学真空与流体工程中心 250 1491 18.0 22.0
2 杜广煜 东北大学真空与流体工程中心 28 84 6.0 8.0
3 王晓光 6 33 3.0 5.0
4 惠秀梅 东北大学真空与流体工程中心 2 13 2.0 2.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (15)
共引文献  (21)
参考文献  (12)
节点文献
引证文献  (10)
同被引文献  (11)
二级引证文献  (17)
1981(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1990(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1992(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1994(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1996(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1997(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1999(3)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(2)
2000(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2001(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2003(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2004(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
2005(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2006(7)
  • 参考文献(5)
  • 二级参考文献(2)
2007(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2008(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2009(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2011(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2012(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2013(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2014(4)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(2)
2015(4)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(3)
2016(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
2017(8)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(5)
2018(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
2019(3)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(3)
2020(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
二硫化钨
射频溅射
溅射工艺
化学成分
摩擦系数
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
  • 期刊分类
  • 期刊(年)
  • 期刊(期)
  • 期刊推荐
论文1v1指导