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湿法腐蚀制备 GaN LED 蓝宝石图形衬底的工艺方法研究
蓝宝石图形衬底
湿法腐蚀
腐蚀速率
GaN L ED
Si衬底GaN基LED的结温特性
Si衬底
GaN
发光二极管
结温
SiN钝化膜对Si衬底GaN基蓝光LED性能影响
蓝光LED
GaN
硅衬底
SiN
钝化
光衰
裂纹对Si衬底GaN基LED薄膜应力状态的影响
Si衬底
InGaN/GaN
LED
裂纹
应力
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Si衬底GaN基功率型LED制造技术开发
来源期刊 中国科技成果 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2010,(10) 所属期刊栏目 科技计划成果
研究方向 页码范围 13,16
页数 分类号 TN3
字数 1370字 语种 中文
DOI 10.3772/j.issn.1009-5659.2010.10.006
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期刊影响力
中国科技成果
半月刊
1009-5659
11-4484/N
北京复兴路15号245室中国科技成果编辑部
chi
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