直拉单晶硅中埚跟比的精确计算研究

• 作者: 王蕾
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉单晶硅 埚跟比 液面位置 石英坩埚
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 光伏制造工艺与设备
• 页码范围: 23-26,40
• 分类号: TF806
• 字数: 3082字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.08.006

摘要

在直拉单晶硅生长过程中,埚跟比（即坩埚上升速度与晶体提拉速度的比值）的设置非常重要,它直接决定了液面位置的稳定性。其不但影响单晶硅成品的质量,而且不合理的埚跟比设置可能会在直拉单晶硅生长过程中出现变晶断苞,导致单晶生长失败。目前国内大多数光伏单晶硅生产商仅仅依靠人工经验来设置埚跟比,其准确性很难保证。采用体积元积分的方法,精确计算埚跟比,解决了由于石英坩埚内表面尺寸的非线性变化带来的埚跟比不准确的问题,提高了液面位置的稳定性和直径测量的准确性,并在实践中验证此方法是切实可行的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王蕾		10	56	5.0	7.0