直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜

• 作者: 欧耿良 王翠凤 赵乙璇 邱锡荣
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: AZO PET基板 透明导电膜 直流磁控溅射
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 53-60
• 分类号: TG174.442
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2012.06.009

摘要

室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO(ZnO∶Al)薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置,考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等工艺参数对薄膜微观结构和光电性能的影响.结果表明:AZO薄膜晶体结构为纯ZnO的六角纤锌矿结构.随着Al掺杂量增多,AZO薄膜导电性增加,透光率下降.在氧分率为8.2％,ZnO(40 nm)/Al(6 nm)三层膜条件下,得到电阻率为5.66×10-2Ω·cm,可见光范围内透光率约为80％的AZO薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王翠凤	福建信息职业技术学院机电工程系	28	87	5.0	7.0
2	欧耿良	台北医学大学口腔医学院	1	3	1.0	1.0