掩模传输交换版机械手的设计分析

• 作者: 马喜宝
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 可靠性 版叉 滚珠丝杠 滚珠花键
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TP241.3
• 字数: 2123字
• 语种: 中文

摘要

根据掩模传输交换版机械手的功能和性能需求，确定其机构组成，并分别介绍了各个组成的详细结构，并结合各个部分的应用场景，进行可靠性和可维修性的分析和计算。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马喜宝		4	1	1.0	1.0