双磁悬浮泵串联技术在超精细清洗机中的应用

• 作者: 吴仪 张磊
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 清洗机 磁悬浮泵 双泵串联 压力控制 闭环控制
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 549-553
• 分类号: TP29|TN305
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2014.07.013

摘要

化学药液供给系统是晶片清洗机的重要功能单元.其特殊的使用环境,要求动力泵应该具备耐化学腐蚀、不产生污染颗粒、外形尺寸小、而且输出的压力较高和流量较大等特性.重点介绍了磁悬浮泵在65 nm超精细清洗机化学药液供给系统中的使用情况,包括磁悬浮泵的结构特点、性能参数、控制方式、双泵串联的控制方法以及自主开发的压力-速度闭环控制器,避免了因为环境电磁干扰对速度信号(0～5 V)采集引入的误差.结果显示,药液压力建立快速、无超调,到达目标压力后泵转速稳定,压力闭环控制精度小于工艺压力设定值的1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴仪	北京七星华创电子股份有限公司集成电路工艺设备研发中心	3	2	1.0	1.0