一种新型低阳极发射效率快恢复二极管

• 作者: 何延强 刘钺杨 吴迪 温家良 金锐
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 快恢复二极管(FRD) 低阳极发射效率 导通压降 反向恢复电荷 反向恢复电流峰值
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 911-915
• 分类号: TN313.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.12.006

摘要

采用局域注入p型离子和高温推结的方式得到高掺杂p+区和低掺杂p-区规律性的浓度梯度变化,研制了新型低阳极发射效率二极管.与常规结构二极管相比,此结构在工艺实现时,制造工艺条件、掩模版数量保持不变,只需设计高掺杂p+区和低掺杂p-区层次掩模版图案,即可实现发射极注入效率的自调节,制造成本低;其反向恢复电荷减小了30.4％,反向电流峰值减小了29％,反向电压峰值减小了6.7％,反向恢复时间减小了11％,开关器件的工作损耗降低,折衷性能更加优良;在VF基本相当的情况下,反向恢复软度特性更优.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温家良	国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所	16	304	11.0	16.0
2	刘钺杨	国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所	6	21	3.0	4.0
3	金锐	国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所	11	77	5.0	8.0
4	吴迪	国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所	2	5	1.0	2.0
5	何延强	国网智能电网研究院电工新材料及微电子研究所	1	1	1.0	1.0