雪崩光电二极管芯片自动测试系统

• 作者: 尹顺政 张岩 杨红伟 齐利芳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 雪崩光电二极管芯片 击穿电压 穿通电压 暗电流 测试系统
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 473-477
• 分类号: TN364.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.06.014

摘要

利用Keithley 2400源表、AV6381可编程光衰减器、AV 38124 1 550 nm单模半导体激光器和TZ-608B型光电屏蔽探针台搭建雪崩光电二极管芯片自动测试系统.在Labview环境下开发了自动测试软件,通过软件控制测量仪表,实现了雪崩光电二极管芯片的击穿电压、暗电流、穿通电压及10倍增益工作点电压的自动测试及合格判定.探针台可以根据测量系统反馈的判定结果对不合格芯片进行NG标记,方便划片后对不合格芯片进行筛选和剔除.建立的自动测试系统准确性高,测试速度快,软件操作方便,显示结果直观.同时可以实现测试参数的自动存储,方便进行统计过程控制(SPC)分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨红伟	中国电子科技集团公司第十三研究所	23	87	6.0	7.0
2	齐利芳	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	28	3.0	5.0
3	尹顺政	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	27	3.0	5.0
4	张岩	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	10	2.0	2.0