4H-SiC同质外延拉曼散射光谱

• 作者: 柴泾睿 王守国 王登
• 来源期刊: 西北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 4H-SiC 拉曼光谱 掺杂浓度 LOPC模
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 229-232
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 字数: 1980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16152/j.cnki.xdxbzr.2015-02-011

摘要

在4H-SiC(0001)衬底上,使用CVD法生长不同掺杂浓度的外延层.将不同掺杂浓度的4H-SiC外延层,用拉曼散射光谱进行了研究.使用Matlab拟合了LOPC模的线型,并从理论上计算出载流子浓度,载流子浓度的理论计算值与SIMS测量的结果符合良好.随着掺杂浓度的变大,载流子浓度变大,LOPC峰发生蓝移,频移变大,散射强度变小,峰宽变宽.分析认为,LOPC峰发生蓝移主要和晶格振动有关,浓度越大,使得原子之间和晶胞之间的相互作用越强,致使出现蓝移现象.随着掺杂浓度的增大,声子增加,进而散射概率增加,散射概率降低了声子寿命,声子寿命和峰宽成反比,随着掺杂浓度增大,峰宽变宽.随着掺杂浓度的增大,散射强度越来越小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王守国	西北大学信息科学与技术学院	12	161	5.0	12.0
2	柴泾睿	西北大学信息科学与技术学院	1	1	1.0	1.0
6	王登	西安电子科技大学宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0