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基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究
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摘要：
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基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量
纳米压印
纳米测量
Mueller矩阵椭偏仪
测量准确度
基于Mueller矩阵成像椭偏仪的纳米结构几何参数大面积测量?
纳米结构
纳米测量
光学散射测量
Mueller矩阵成像椭偏仪
基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测
纳米压印
光栅
无损检测
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基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计
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期刊影响力
机械工程学报
主办单位：
中国机械工程学会
出版周期：
半月刊
ISSN：
0577-6686
CN：
11-2187/TH
开本：
大16开
出版地：
北京百万庄大街22号
邮发代号：
2-362
创刊时间：
1953
语种：
chi
出版文献量（篇）
12176
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