Ge2Sb2Te5相变薄膜的结构及结晶温度研究

• 作者: 刘军伟 刘巧丽 孟繁强 李廷取 王璐
• 来源期刊: 吉林化工学院学报
• 学科: 化学
• 关键词: 相变材料 Ge2Sb2Te5 结构 DSC 结晶温度
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: O614.23
• 字数: 1640字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16039/j.cnki.cn22-1249.2016.09.011

摘要

利用射频磁控溅射法在室温下沉积了GST相变薄膜,利用XRD、AFM对其结构进行表征,原位XRD及DSC测试确定其结晶温度.(原位)XRD测试表明,室温下沉积的GST薄膜为非晶态,且在室温～375℃温度范围内,样品经历了非晶态→立方晶态→六方晶态相转变;通过原位XRD和DSC测试确定的GST薄膜的结晶温度一致,为～150℃.