光刻机工作台永磁同步电机伺服控制系统设计

• 作者: 丁桃宝 万斌斌 戴磊 田会峰
• 来源期刊: 智能机器人
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机工作台 永磁同步电机 伺服控制系统
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TM921.541

摘要

工作台是光刻机的重要部件之一,为了更好地实现直线大行程运动以及准确度的粗定位,本文提出了一种基于DSP的永磁同步电机伺服控制系统。本文结合永磁同步电机各方面良好的性能,详细介绍了控制系统的控制板和驱动板,控制板主要采用了TI公司的电机控制芯片TMS320F2808为控制核心,功率驱动板主要由三相桥式逆变主电路、光耦隔离电路、信号采集电路和保护电路组成。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到了要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁桃宝		1	0	0.0	0.0
2	万斌斌		1	0	0.0	0.0
3	戴磊		1	0	0.0	0.0
4	田会峰		1	0	0.0	0.0