军用标准PIND试验方法发展与对比分析

• 作者: 尹丽晶 席善斌 彭浩 裴选 高东阳 高金环
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 粒子碰撞噪声检测(PIND) 筛选试验 可动粒子 振动频率 军用标准
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 313-320
• 页数: 8页
• 分类号: TN306|TN406
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.04.013

摘要

封装腔体内部的可动粒子会引起半导体器件和电路的短路或间歇性功能失效,从而对其使用可靠性产生影响.粒子碰撞噪声检测(PIND)试验可有效剔除腔体内部含有可动粒子的器件,从而被纳入多项标准中作为一项无损筛选试验并得到广泛的应用.给出了腔体内部可动粒子的危害,详细研究了美国和中国军用标准PIND试验方法的发展历程及现状,对比了3种PIND试验标准不同版本试验参数的变化,分析了标准参数变化产生的影响,给出了筛选批接收的试验流程,对试验人员具有一定指导作用,提高了PIND筛选试验的准确性.