快速热处理方法对铟镓锌氧化物薄膜晶体管特性的改善

• 作者: 刘纯亮 张小宁 张鹤 王耀功 王若铮
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铟镓锌氧化物 薄膜晶体管 快速热处理
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 214-219
• 页数: 6页
• 分类号: TN321
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.03.06

摘要

为了达到在短时间内提高铟镓锌氧化物薄膜晶体管(a-IGZO TFT)性能的目,本文提出了一种快速热处理(RTP)的后处理方法,并对其升温时间进行研究.实验结果表明RTP工艺能够在短时间内实现a-IGZO薄膜内部的缺陷复合与断键重连,提升a-IGZO薄膜质量,从而提高a-IGZO TFT的器件性能.基于RTP工艺的a-IGZO TFT获得了良好的电学特性,其阈值电压与亚阈值摆幅低至0.2V与0.31 V·decade-,与未退火的a-IGZO TFT相比分别降低了67％与77％;其载流子迁移率与开关电流比高达8.7 cm2/Vs与7.8×106,与未退火样品相比分别提升了171％与1.1×103倍.与此同时,RTP的处理时间仅需不到5 min,大幅度缩短了a-IGZO TFT所需的后处理时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘纯亮	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	124	527	9.0	16.0
2	张小宁	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	37	116	6.0	8.0
3	张鹤	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	3	14	2.0	3.0
4	王若铮	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0
5	王耀功	西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室	4	0	0.0	0.0