传感器表面磁控溅射Mg-Sn涂层组织及导电特性分析

• 作者: 张晓斌 张远 李海生
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Mg2 Sn涂层 微观组织 电导率 迁移率
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 页码范围: 782-786
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.08.15

摘要

采用磁控溅射的方法在传感器用单晶Si衬底上制备一层Mg-Sn涂层,实验测试研究溅射次数对其组织及导电特性的影响.研究结果表明:沉积涂层内形成了具有明显尺寸差异的颗粒,从而形成了粗糙的表面.随着溅射次数增加,Mg含量发生了逐渐降低的现象,Sn与O元素含量表现为逐渐升高的变化规律.随着溅射剥离时间的增加,Mg1s峰位从1286降低至1285 eV,表现为涂层深度增大后,Mg1s发生了峰位降低的现象.出现在沉积薄膜内的O主要是为了提高靶材的成型能力而加入一些有机物所产生的.各涂层都具有正的Hall系数,可以判断属于p型半导体.当涂层内Mg含量发生减小后,电导率也随之减小.当涂层内形成更少的Mg2 Sn与更多的Sn之后,引起了载流子浓度的下降,引起迁移率的减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓斌	河南建筑职业技术学院设备工程系	8	1	1.0	1.0
2	李海生	河南科技大学物理工程学院	4	1	1.0	1.0
3	张远		1	0	0.0	0.0