2种ITO靶材及溅射薄膜性能比较研究

• 作者: 左宁伟 杨龙 刘秉宁
• 来源期刊: 宁夏大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 薄膜 性能
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 力学和材料学
• 页码范围: 347-350
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

针对一种进口和国产的IT O靶材,通过磁控溅射方法,对靶材及所制备薄膜的结构、光学、电性能进行比较.结果表明,国产靶材样品的表面未产生结瘤,薄膜透光率大于85％,薄膜结晶度高,呈现(400)择优取向,薄膜表面粗糙度在2.7 nm左右,具有较好的平整度,性能与进口靶材性能一致,符合T FT用靶材要求.