纳米氧化锌传感器的研究进展

• 作者: 刘雨雨 熊艳
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌(ZnO) 纳米材料 气体传感器 生物传感器 光电传感器
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 15-23,29
• 页数: 10页
• 分类号: TP212.41
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2021.01.002

摘要

ZnO是一种带隙宽度约为3.0 eV的Ⅱ-Ⅵ族n型半导体材料,其具有优异的光学性能、压电性能和电化学性能,广泛应用于传感器、太阳电池和催化净化等领域.介绍了目前纳米ZnO的主要制备方法,包括水热法、电化学沉积法和磁控溅射法,分析对比了每种制备方法的优缺点.着重介绍了纳米ZnO材料在气体、生物以及光电传感器领域的研究进展,概括了制约纳米ZnO传感器件发展的影响因素.高性能纳米ZnO材料不仅在传感领域将会有良好的应用前景,而且能促进光电、医疗以及工业生产等行业的快速发展.最后,对纳米ZnO传感器目前所面临的挑战和未来的发展趋势进行了展望和总结.