从概念到批量生产升级MEMS制造 ——泛林集团开发的先进工艺解决晶圆制造领域难题,满足MEMS器件市场的强劲需求

• 作者: David Haynes
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 新技术与新工艺
• 页码范围: 67-70
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

长期以来,电脑、手机以及一些汽车应用一直是推动半导体器件增长的动力.这些传统市场的发展也在加速催化对各种相关新应用的需求,包括人工智能(AI)、虚拟现实(VR)、增强现实(AR)、机器人技术、医疗传感器以及更先进的汽车电子产品,而以上各种应用的发展又刺激了对各类半导体的需求,包括逻辑芯片、控制IC、图像传感器以及MEMS组件.