金属氧化物半导体材料用于LPFG气敏传感研究

• 作者: 璩光明 杨莹丽 王国东 杨林林
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: 金属氧化物半导体 电导率 LPFG 折射率 气敏传感
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research & Development
• 页码范围: 239-243
• 页数: 5页
• 分类号: TM23|TN253
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1652

摘要

通过分析长周期光纤光栅(LPFG)透射波长与金属氧化物半导体材料电导率、折射率之间存在的关联性,针对性分析了温度对材料气敏性能的影响,综合讨论金属氧化物半导体材料应用于LPFG气敏传感的合理性.建立了金属氧化物半导体材料应用于LPFG气敏传感时各相关量之间对应的逻辑关系,并利用光纤光栅传感特性辅助分析系统做出理论计算进行验证.计算结果与理论分析呈现出良好的一致性,当还原性气体吸附导致外包层n型金属氧化物半导体材料折射率增大时,LPFG透射波长逐渐向短波方向移动,表现出了相应的气体敏感特性.