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薄膜科学与技术
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主办单位：
南京电子器件研究所
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出版周期：
双月刊
邮编：
210016
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11. 磁光存贮技术的现状和未来摘要：
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摘要： 本文报道了在PCVD设备中用固态AlCl3源成功地制备出（TiAl)N膜。结果表明，（TiAl)膜的含Al量与AlCl3源的温度成正比，而膜内C含量则无明显变化。（TiAl)N膜保持了TiN...
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19. 四靶双离子束溅射镀膜机摘要：
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25. 溶胶—凝胶法制备Fe2O3薄膜摘要： 以三氯化铁与叔丁醇的反应产物为先驱物，用溶胶－凝胶法制备了透明均匀的Ｆｅ２Ｏ３薄膜。利用ＦＴＩＲ、ＸＲＤ、紫外－可见光谱分别对先驱物、凝胶和薄膜进行了分析。结果表明，采用上述先驱物通过溶胶－...
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摘要： 本文报导了利用射频溅射技术成功地获得具有一维周期结构的ａ－Ｓｉ／Ｍｏ多层膜。分析讨论了可控厚度多层膜的生长条件；利用Ｘ－ｒａｙ衍射、ＳＩＭＳ、ＳＥＭ、Ｒａｍａｎ等分析手段，对多层膜进行了结构...
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27. 亚微米硅外延生长特性研究摘要： 本文利用附面层模型，研究了亚性米Ｓｉ外延生长中，生长速率随时间的变化规律，分析不同不的硅源及不同的生长条件对其的影响。...
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摘要： 化学气相淀积（ＣＶＤ）由于其固有特点，做为一类操作简单，可以大批量低成本地提供大面积、高质量无机薄膜材料的实用化技术，近几年来出现若干新的发展，以适应现代科学技术领域发展的需要。本文拟就此状...
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摘要： β－Ｃ３Ｎ４晶体是一种新型假想材料，其结构和β－Ｓｉ３Ｎ４晶体相似。β－Ｃ３Ｎ４材料从理论上预言可能具有比金刚石还大的体积模量，并有较为特殊的电学和光学性能。高含氮量的ＣＮ膜和多晶β－Ｃ３Ｎ...
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摘要： 通过在单晶Ａｌ、Ｍｏ表面进行压入实验考察了循环卸载对弹性模量和硬度测量值的影响，发现硬度基本无变化，弹性模量虽有变化但并不显著，认为可采用一次加载卸载进行测定和计算。...
薄膜科学与技术基本信息
| 刊名 | 薄膜科学与技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 南京电子器件研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | ||
| 邮编 | 210016 | 电子邮箱 | |
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