电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
3731
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10002

电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量(篇)
3731
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  • 作者: 陈威 党景涛 王河 周庆奎 庞超群
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  1-4,33
    摘要: 通过对比混波UV-LED(Ultraviolet Light Emitting Diode)光源和单波UV-LED光源的性能和工艺实验,优化了混波UV-LED光源光刻工艺.光源性能主要对比了...
  • 作者: 张文斌 郭东 葛劢
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  5-7,46
    摘要: 介绍了碲锌镉晶片双面磨抛机的工艺过程和原理,研究了双面磨抛工艺中磨抛液粒度、抛光压力、抛光液流量和工作台转速对晶片表面损伤层深度的影响.
  • 作者: 李瑫 程文进 黄志海 杨勇 陈李松
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  8-11,56
    摘要: 水平液相外延设备是目前生产碲镉汞薄膜材料的主要设备,其温度控制的精度、温度场的均匀性等是设备的关键性能指标.为了满足液相外延设备对温度控制的要求,设计了多段独立控制的加热系统,并采用串级控温...
  • 作者: 贾月明 刘路宽 高岳
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  12-14,70
    摘要: 对低温探针台液氮管路的保冷结构进行了研究,给出了保冷层厚度的计算方法,应用有限元分析软件对液氮管路进行了热应力分析,为低温探针台液氮管路保冷设计提供了理论依据.
  • 作者: 高慧莹 左宁 艾博
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  15-19
    摘要: 为实现多芯片集成高精度拼接,对芯片拼接线性度进行了深入研究,提出了一种保证高精度芯片集成拼接方法.通过CCD图像匹配、识别定位每个芯片的实际位置坐标,根据已经拼接完成的芯片位置坐标拟合,进行...
  • 作者: 刘国敬 梁津 张文斌 刘婷婷
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  20-23
    摘要: 论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段.该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆启测测试芯粒自动定位,为探针设...
  • 作者: 董永谦 王增琴
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  24-29,66
    摘要: 论述了基于倾斜双目相机的视觉对位技术实现图像采集,并将其采用投影变换进行倾斜图像校正,通过标定获取图像与世界坐标系之间的关系及畸变参数,在各相机模板匹配的基础上,通过对位计算实现了视觉对位....
  • 作者: 刘骏
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  30-33
    摘要: 图像拼接算法在视频压缩、文物守护、图像信息处理与虚拟现实技术中普遍应用.图像拼接存在图像视野范围和高分辨率之间相互矛盾的问题,目前要获得某些大视野的场景时,只能通过一些简单方法进行处理.因此...
  • 作者: 赵英伟 郝晓亮 张文朋
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  34-37
    摘要: 介绍了一种用于超声波扫描显微镜的自动上下片系统设计,对其真空气路、循环水路和S型导轨的机械结构设计进行了详细介绍.基于贝加莱PLC的输入/输出信号控制系统、X2X Link通讯方式下运动控制...
  • 作者: 徐品烈 田利忠 种宝春 常亮 赵玉民 孙莉莉
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  38-41
    摘要: 通过测量二维工作台XY轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精...
  • 作者: 郑娟莉
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  42-46
    摘要: 框架变形是IC封装中常见的质量异常之一;针对TO系列产品介绍了一套完整解决方案,采用PDCA循环方法,从现状分析着手,找出原因、制定对策措施,改善了框架变形异常并取得较好的效果;通过效益检查...
  • 作者: 张志耀 马良 韦杰 田芳
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  47-51
    摘要: 介绍了低温共烧陶瓷冲孔设备传统的冲孔误差补偿方法,以及该补偿方法存在的问题;提出了一种基于低温共烧陶瓷数字化车间的冲孔误差补偿方法,论述了该补偿方式相对于传统方式在冲孔精度、设备补偿效率方面...
  • 作者: 韩栋梁 贺霄琛 李少飞
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  52-56
    摘要: 三维设计软件在装备制造领域取得了广泛应用,传统的计算机存在系统稳定性较差和硬件可靠性不强的缺点,给数据安全和运维管理带来了一定的风险.近年来,虚拟化技术不断发展,在降低成本和能耗、提高运维效...
  • 作者: 刘志丹 张飞 赵志平 陈帅 罗小宇
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  57-62
    摘要: 研究了一种相控阵雷达的天线焊接技术,主要包括基板的大面积钎焊和连接器的焊接.试验件分别采用低温真空钎焊和真空汽相焊两种焊接方式,进行对比研究和分析,发现真空汽相焊的焊接效果优于低温真空钎焊....
  • 作者: 史霄 杨师 杨元元 费玖海
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  63-66
    摘要: 从设计标准、性能标准、测试方法等方面介绍了SEMI S6标准,并以CMP后清洗设备为例介绍了排气通风设计中的一些注意事项.以CMP后清洗设备中的清洗槽为例,介绍了利用流体仿真软件对排气通风设...
  • 作者: David Haynes
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  67-70
    摘要: 长期以来,电脑、手机以及一些汽车应用一直是推动半导体器件增长的动力.这些传统市场的发展也在加速催化对各种相关新应用的需求,包括人工智能(AI)、虚拟现实(VR)、增强现实(AR)、机器人技术...
  • 作者:
    发表期刊: 2021年1期
    页码:  71-72
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

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1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

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