微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 傅广生 彭英才 赵新为
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  1-7
    摘要: 评论了纳米电子学的沿革路程,介绍了纳米电子学的研究内容,并预测了它的发展趋势.进而指出,纳米电子学的崛起与发展将会对21世纪的量子计算机、量子通信以及量子信息处理等产生革命性的影响.
  • 作者: 梁惠来 牛萍娟 王文新 罗惠英 郭维廉 陈乃金
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  8-10
    摘要: 在I-V特性曲线上具有双微分负阻的三稳态共振隧穿器件,室温下可以达到较高的电流峰谷比5.2:1.器件采用两个隧穿二极管背靠背串联的结构,能更大程度提高集成度,可以在多值逻辑或其他有关降低电路...
  • 作者: 于威 康建波 彭英才 简红彬 马蕾
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  11-15
    摘要: 介绍了SiC薄膜的一种主要制备方法--化学汽相沉积(CVD)法制备SiC薄膜的近年研究进展,并对所制备薄膜的结构特征与物理性质进行了简要评述.
  • 作者: 刘玉岭 檀柏梅 牛新环 袁育杰 赵之雯
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  16-19,46
    摘要: 介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,阐述了蓝宝石衬底的应用发展前景以及加工工艺中存在的问题,总结了影响CMP工艺的多种因素,并系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数及其影响因素,提出了优化...
  • 作者: 刘静 曲小鹏
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  20-27,36
    摘要: 提出了采用一对中空的圆柱形电极作为微/纳米流体通道的一部分,对流经该处的电解液的电阻值进行测定,由此刻画溶液的流动速率、浓度及温度等参数的方法.从理论上推导出微流体电解液的电阻值与上述参数之...
  • 作者: 冯喜增 王立凯 秦明 贾芸芳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  28-36
    摘要: 回顾了半导体生化传感器(ISFET和LAPS)在医学监测、免疫检测、免疫分析、DNA杂交以及细胞培养等方面应用的进展.为使半导体器件适用于生化检测,对其中所采用的检测手段和取得的研究结果进行...
  • 作者: 徐元森 王彬 赵建龙 金庆辉 陈翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  37-42,63
    摘要: 阐述了电磁MEMS技术在生物医学工程中的应用,包括微流体及微阵列芯片上基于磁珠的生物检测、核磁共振(NMR)及其他生物医学器械微型化改进等.介绍了电磁MEMS技术中的典型制作技术,展望了电磁...
  • 作者: 刘长春 崔大付 王利 陈兴
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  43-46
    摘要: 研制了细胞分离芯片和DNA提取芯片两种样品预处理微流控芯片,介绍该两种芯片的原理、结构和样品预处理效果.基于微过滤原理设计的闸式细胞分离芯片,可实现老鼠外周血中白细胞与红细胞的分离.DNA提...
  • 作者: 郭商勇 钱晓峰 陈涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  47-49,54
    摘要: 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片.采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的...
  • 作者: 余勇 胡松
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  50-54
    摘要: 介绍了激光共聚焦扫描仪的成像原理以及PMT的特性和控制原理,在此基础上详细分析了FPGA通过DAC动态控制PMT增益的微弱荧光信号检测方法,以适应不同的荧光强度,FPGA同时控制16位高速A...
  • 作者: 于海涛 董申 赵小力
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  55-63
    摘要: 软印刷技术是基于弹性体印章/模具来转移图形结构的微纳加工技术.详细介绍了软印刷技术中转移图形结构的多种方式,并探讨软印刷技术在微纳电子学、光学、传感器、生物等领域的广泛应用.对软印刷技术的弹...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年1期
    页码:  64
    摘要:
  • 作者: 唐海侠 王启明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  65-72
    摘要: 简述了光子晶体在有源器件中应用的物理基础,介绍了几种类型的光子晶体有源器件,包括光子晶体激光器、发光二极管和光电探测器.并探索了光子晶体有源器件的潜在应用前景.
  • 作者: 张杨 杨富华 韩伟华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  73-79
    摘要: 硅基单电子晶体管是一种极具潜力的新型量子器件.大多数硅基单电子晶体管的制备方法可以很好地与主流的CMOS工艺兼容.介绍了硅基单电子晶体管一些典型的具体制备工艺和方法以及该领域近年来的研究热点...
  • 作者: 张瑞君 罗雁横
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  80-84,94
    摘要: 光子晶体微腔因其具有增强自发辐射、定向输出和单模工作的能力而受到广泛关注.介绍了光子晶体微腔发光二极管的基本原理、设计、特性、制作及其典型器件.
  • 作者: 张亚非 曲鹏 王英
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  85-88,106
    摘要: 利用LB技术在Si(100)基片上制作了金纳米粒子单层膜,采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对单层膜的表面形貌进行表征.实验结果表明,将表面压控制在22 mN/m~26 m...
  • 作者: 沈海军 穆先才
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  89-94
    摘要: 采用基于Brenner REAO(reactive empirical bond order)势的分子动力学方法,模拟了"Y"型、竹节型与直纳米碳管的拉伸过程.结合有限元分析,对比并讨论了"...
  • 作者: 王洪喜 贾建援 赵剑
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  95-97,111
    摘要: 从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发,应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式,在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式.通过与有限元计算结果对比,得到了不同计算公式的精度,其中应用...
  • 作者: 刘永武 王小静 王敏 陈晓阳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  98-101
    摘要: 通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析.在静态和模态分析中,得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响.在谐...
  • 作者: 乔俊仙 唐小萍 张正荣 王淑蓉 王肇志 胡松 邢薇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  102-106
    摘要: 介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标.该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台...
  • 作者: 刘玉岭 张远祥 程东升 袁育杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  107-111
    摘要: 提出了在碱性抛光液中铝薄膜化学机械抛光的机理模型,对抛光液的pH值、磨料、氧化剂浓度对过程参数的影响做了一些试验分析.试验结果表面粗糙度的铝薄膜所需的最优化CMP过程参数:硅溶胶粒径为15~...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年2期
    页码:  112
    摘要:
  • 作者: 张邦维
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  113-120
    摘要: Si MOS晶体管进入nm尺度后,原来通用的栅极介电材料SiO2已不能适应纳米晶体管继续小型化的需要,必须用高k栅极电介质材料取而代之.对Si纳米晶体管为什么要采用高k栅极电介质材料、此类材...
  • 作者: 杜江峰 杨谟华 罗谦 赵子奇 靳翀
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  121-124
    摘要: 针对GaN HEMT电流崩塌物理效应,测试了各种条件下器件I-V特性.发现在栅脉冲条件下器件最大漏输出电流减小了23.8%,且随着栅脉冲宽度减小或周期增大而下降,并且获得了其输出电流与脉冲宽...
  • 作者: 宋颖娉 沈光地 艾伟伟 董立闽 郭霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  125-129
    摘要: 研究了用Cl2/BCl3刻蚀GaN基LED中,工艺参数对GaN刻蚀速率、刻蚀侧壁和GaN与SiO2刻蚀选择比的影响.研究结果表明,刻蚀速率随着ICP功率和压强的增大先增大继而减小,随RF功率...
  • 作者: 刘之景 郑楠
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  130-134
    摘要: 着重阐明了偶氮聚合物光存储纪录的原理,分析了其双折射特性的微观机制,介绍了该课题近年来实验和理论上的最新进展,对这一充满希望和挑战的多学科交叉研究专题作了展望.
  • 作者: 沈海军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  135-137,158
    摘要: 采用分子动力学方法,分别对管芯没有填充和填充了H2O或Ne分子的纳米碳管振荡器的振荡进行了模拟.根据计算结果,讨论了H2O或Ne分子填充对碳管振荡器振幅衰减、振荡频率等振荡性能的影响.研究表...
  • 作者: 冯海 叶梅 叶虎年 林伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  138-140,149
    摘要: 根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,利用高压运放设计研制了一种新型的驱动电源,通过对压电驱动器的实验研究表明,其具有精度高、性能稳定、分辨率高、纹波小和电路结构简单等优点,能够满足微定位系...
  • 作者: 丁建宁 杨继昌 王权 程广贵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  141-144,149
    摘要: 微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术的发展,大大促进了航空航天领域飞行器的微型化.依据量子理论,有效提取真空中的零点能,并以此作为驱动能源,可以解决微型飞行器由于必须携带燃料而增加重量等...
  • 作者: 于虹 宋震煜
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年3期
    页码:  145-149
    摘要: 当MEMS谐振梁的尺寸进一步缩小到nm量级时,实验表明在外部激励的作用下,器件运动状态更容易从线性区进入到非线性区.考虑纳米梁的轴向非线性伸长因素,利用连续体弹性理论建立了物理模型,并利用该...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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