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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
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  • 61. 硅晶圆CMP抛光速率影响因素分析
    作者： 谭刚
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  1-2,6
    摘要： 化学机械抛光(CMP)技术是半导体工艺中不可缺少的重要工艺.针对硅晶圆CMP平坦性问题,系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响,从中找到它们之间的优化参数,...
  • 62. Cl2/Ar/BCl3 ICP刻蚀AlGaN的研究
    作者： 亢勇 朱龙源 李向阳 赵德刚 陈亮 龚海梅
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  7-9
    摘要： 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用.在对比了ICP与RIE,ECR等干法刻蚀技术优缺点的基础上,采用Ni作为掩膜,Cl2/Ar/BCl3作为刻蚀气体...
  • 63. 谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化
    作者： 任杰 樊尚春 郭占社
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  17-19
    摘要： 谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力.由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制...
  • 64. 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究
    作者： 任天令 刘理天 叶双莉 张大成 阮勇
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  37-39
    摘要： 提出了提高硅深反应离子刻蚀的新方法.该方法在硅的侧壁PECVD淀积SiO2,硅的底部采用热氧化的方法形成SiO2.由于在刻蚀中硅与SiO2的刻蚀选择比为120:1～125:1,因此SiO2层...
  • 65. 微声学器件封装特性研究
    作者： 任天令 刘理天 杨轶 王水第 蔡坚
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  40-42
    摘要： 分别采用TO-CAN和SMT形式对微声学器件进行了封装,并对封装后的器件进行了耦合腔测试和指向性测试.测试结果表明,通过减小前入声孔直径大小,能够抑制微音频器件的高频响应;另外通过采用不同的...
  • 66. 电容式高分子湿敏材料功能设计
    作者： 卢崇考 郑丽 金建东
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  66-67,71
    摘要： 以物理化学中的吸附理论为出发点,探讨高分子材料的感湿机理,研究了高分子湿敏材料的微观结构与灵敏度、湿滞、温度系数、长期稳定性等性能指标的内在联系,结合理论分析和实践提出了电容式高分子湿敏材料...
  • 67. 低温微波水热法制备氧化钇稳定氧化锆
    作者： 刘力 孙永欣 常爱民 杨阳 王绍钢 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  76-79,85
    摘要： 微波水热合成法是新型的纳米粉体材料制备方法,它与常规水热法相比,反应时间更短、反应温度更低,并且微波的非热效应影响产物晶型的形成.立方相氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷材料是制作氧传感器、固体...
  • 68. NTC热敏陶瓷用Mn0.43Ni0.9 CuFe0.67O4的Pechini法合成及性能研究
    作者： 常爱民 张慧敏 王绍刚 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  86-90
    摘要： 采用Pechini法,成功制备了Mno.43Ni0.9CuFe0.67O4纳米粉体.聚合前驱体在400～700℃下煅烧,采用热重一差热分析(TG-DTA)、红外光谱(IR)、X射线衍射(XR...
  • 69. CoMnNiO系NTC热敏半导体陶瓷烧结特性与电性能研究
    作者： 常爱民 张惠敏 赵青
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  95-97
    摘要： 研究了CoMnNiO系负温度系数热敏电阻陶瓷材料的烧结特性和电性能,探讨了不同烧结方法对CoMnNiO系NTC热敏陶瓷烧结特性及电性能的影响.试验结果表明,微波烧结的样品成瓷均匀、致密,且晶...
  • 70. 电纺SnO2纳米纤维的制备及其气敏特性
    作者： 何秀丽 张阳 李建平 高晓光
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  98-101
    摘要： 采用聚乙烯醇(PVA,Mω=80000 g/mol)和五水合四氯化锡(SnCl4·5H2O)作为静电纺丝前驱液,着重研究了纺丝电压、前驱液中PVA浓度及煅烧温度等因素对纺丝过程及纤维特性的影...
  • 71. 竹节形碳纳米管的制备
    作者： 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  123-125
    摘要： 采用乙醇催化燃烧法制备竹节形碳纳米管,利用乙醇作为碳源和燃料提供材料生长所需的能量,以Cu薄片作为基底,FeCl3与Fe(NO3)3作为催化剂先体.通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微...
  • 72. LVDT传感器在爆炸环境地运动测量中的应用
    作者： 吴祖堂 文潮 李运良 王占江 蔡宗义 门朝举 陈立强
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  136-139,149
    摘要： 为了评估炸药在地下结构附近或地下爆炸时产生的地冲击对结构的威胁和影响,进行爆炸环境下的地运动测量,可以为工程安全及其防护设计提供合理有效的数据和依据.采用改进型差动变压式位移传感器(LVDT...
  • 73. 反应堆样品照射控制装置设计
    作者： 吴建平 周四春 王世林 黄欢
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  143-145
    摘要： 设计采用PHILIPS公司具有ISP功能的单片机P89C669作为控制核心,对反应堆中子活化系统的辐照时间实现自动检测与控制,通过气动传输装置控制样品进入反应堆和离开反应堆.安装在反应堆堆口...
  • 74. 基于无线SAW压力传感器的FADS研究
    作者： 倪世宏 李宁 江城
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  153-155,167
    摘要： 嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统.由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统.研究了FADS的...
  • 75. 安装位置对压电射流角速度传感器性能的影响
    作者： 周菁 张福学 郑永红 靳映霞
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  156-158,171
    摘要： 根据压电射流角速度传感器实际工作情况,从腔体中流体运动情况出发,分析传感器安装位置对角速度输出电压的影响.理论分析了安装位置变化对敏感元件中气体受力影响.利用CFD在输入角速度为150°/s...
  • 76. 巨磁电阻传感器的特性测试与应用前景分析
    作者： 任雪蕊 张翔 钱政 陈从强
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  165-167
    摘要： 介绍了巨磁电阻效应的发现、发展和应用情况,在自制实验平台上,分别测试了深圳华夏公司和美国NVE公司传感器的静、动态特性.结果表明,NVE传感器在线性区间、静态灵敏度、线性度、磁滞等方面优于华...
  • 77. 耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制
    作者： 孙承松 庞世信 徐开先 李新
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  172-173,182
    摘要： 如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器,一直备受关注.在SIMOX技术SOI晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了芯片.电桥采用1 mA恒流源供电,在300℃下...
  • 78. 谐振式传感器振动特性测试系统
    作者： 樊尚春 蔡晨光
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  174-175,191
    摘要： 采用激光测振仪测量振动元件表面的幅值.用于检测谐振式传感器振型的测试系统,主要由计算机、激励信号源、激光测振仪、数据采集卡组成.计算机控制激励信号源产生与被测谐振式传感器一个模态所对应的固有...
  • 79. 基于InSb-In薄膜磁阻元件电流传感器的应用
    作者： 陈科球 黄钊洪
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  200-202
    摘要： 介绍了一种用InSb-In共晶体薄膜磁阻元件制成的电流传感器(MRCS).为了检测微弱电流,此种电流传感器利用同时改变两个InSb-In磁阻元件阻值的途径来实现这一目的,设计了一种能较大幅度...
  • 80. 永磁式电磁流量传感器及其信号处理
    作者： 刘可昌 李斌 李霞
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  213-215,221
    摘要： 采用永磁体励磁方式制成的电磁流量传感器,既保持了传统线圈励磁电磁流量计的不易堵塞、无压损等优点,又简化了电磁流量传感器的结构,降低了制造成本,并可充分发挥永磁体励磁方式的功耗低、响应速度快等...
  • 81. 低矫顽力GMR磁传感器及其单畴模型的研究
    作者： 任天令 刘理天 刘鹏 叶双莉 李伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  216-218
    摘要： 在硅片上制备结构为Ta/NiFeCr/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/IrMn/Ta的IrMn顶钉扎自旋阀薄膜,并最终制成了一组基于此自旋阀结构的GMR磁传感器芯片.利用弱磁场下的退火工...
  • 82. GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析
    作者： 文玉梅 李平 肖庭富 郑敏
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  263-265
    摘要： 提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量.推导了复合磁传感器...
  • 83. 小型共面接口压差传感器
    作者： 刘宏伟 孙克 李长春 杨勇 金琦
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  301-303
    摘要： 小型共面接口压差传感器是一种压力传感器,该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差.该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片,敏感元件的工作温度范围为-55～300℃,通过双芯体结构...
  • 84. 巨磁阻生物传感器阵列及专用锁相放大器设计
    作者： 王永进 王豪才 郑飞雁
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  321-324
    摘要： EW_GI是基于GMR(巨磁阻)传感器,用于检测血样中特种病毒的正在研发的生物芯片系统.叙述了其巨磁阻传感器阵列以及后端锁相放大IC电路的设计及实现.该阵列包含32个GMR传感器单元和2个传...
  • 85. 片上集成三电极体系微电极阵列的表征
    作者： 吕尊实 周嘉 陈华 鲍敏杭 黄宜平
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  329-331
    摘要： 设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列.工作电极分为圆形和方形两种,电极特征尺寸为100～900 μm,工作电极与对电极间距为50～200 μm.利用循环伏安法,在氧化还原电位探针二茂铁甲醇...
  • 86. 基于虚拟气体传感器阵列的肺癌检测电子鼻
    作者： 徐凤娟 王平 王悦 陈星
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  360-362
    摘要： 提出了一种无创电子鼻诊断肺癌的新方法.该方法结合虚拟声表面波(SAW)传感器阵列的概念和图像识别方法,对肺癌病人、正常人和老慢支病人的呼出气体进行了检测,确定11种挥发性有机成分(VOCs)...
  • 87. 基于GMR效应的新型生物传感器研究
    作者： 任天令 刘理天 周非 张超奇 曲炳郡
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  373-375
    摘要： 制备出了结构为Ta/NiFe/CoFe/Cu/CoFe/MnIr/Ta,磁阻变化达9.2%的GMR自旋阀传感器,并用该种传感器对浓度为200 μg/mL、直径2μm的生物免疫磁球溶液进行了检...
  • 88. 基于WSN的高速公路监控系统智能化研究
    作者： 万江文 冯仁剑 薛浩 陈斌
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  442-445,456
    摘要： 相比于现有交通系统所采用的视频监控等技术,无线传感器网络具有自组织、低成本、低能耗和易部署等优势,将无线传感器网络技术应用于智能交通是近年来研究的热点.提出了基于无线传感器网络技术的高速公路...
  • 89. 无线传感器网络的建模分析
    作者： 徐太兵 王立鼎 褚金奎 金仁成
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  470-473
    摘要： 无线传感器网络由大量具有传感、计算和通讯能力的节点组成.针对不同的应用目的、工作环境和要求,提出了进行传感器网络建模需要考虑的几个要素.通过对网络基本要素的描述,能够很方便地对传感器网络进行...
  • 90. 一种基于分簇的无线传感器网络路由协议的设计
    作者： 刘海燕 杨朝红 王镓
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2007年7期
    页码:  490-493
    摘要： 在典型分簇协议LEACH的基础上,设计了一种新的路由协议LACHS.与LEACH不同,协议LACHS根据网络中节点的剩余能量动态选择集中式或分布式分簇算法.将协议LACHS与LEACH相比较...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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