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微纳电子技术2009年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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121. 大功率半导体激光器的腔面钝化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 大功率半导体激光器的腔面退化是影响其寿命和可靠性的重要因素,长期以来一直是人们关注和研究的重点.本文利用离子铣结合腔面钝化还原层的方法对大功率半导体激光器的腔面进行处理.结果显示,离子铣腔面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 采用氧化物缓冲层,通过射频磁控溅射系统依次在n型Si(111)衬底上沉积Ga2O3/ZnO(Ga2O3/MgO)薄膜,然后将薄膜于950℃氨化合成GaN纳米结构,氨化时间为15 min.采用...
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123. 碳纳米管薄膜的场发射及其有效发射面积刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 讨论了薄膜与阳极间隔以及有效发射面积对碳纳米管薄膜场发射性能的影响.以磁控溅射Al和Ni在Si片上做为缓冲层和催化剂,以乙炔为C源气体,利用化学气相沉积法制备了碳纳米管薄膜.扫描电镜观测结果...
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124. 柔性MEMS衬底材料及其在传感器上的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 概述了MEMS器件衬底材料的功用及分类(刚性材料和柔性材料).根据其使用柔性衬底材料的不同,将其分为有机聚合物材料(聚酰亚胺、硅橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚对二甲苯、硅树脂)和金属及陶瓷材...
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125. 多晶体材料微构件尺度效应的实验和模型研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 归纳了微电子机械系统中多晶体材料微构件在微塑性加工和应用中其力学性能所表现出来的尺度效应及其多种尺寸关联的主要特征,介绍了微构件外形几何尺寸和材料内部微结构尺寸对其弹、塑性力学性能尺度效应耦...
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126. 电容式z轴微机械陀螺的噪声抑制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 将z轴微机械陀螺两个模态的机械噪声效应等效为各自在单位噪声力作用下的振动,根据陀螺的工作原理得到两个噪声力作用下陀螺敏感模态的机械输出噪声.建立了包含运放和电路板非理想因素在内的接口电路的噪...
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127. 掺杂GaN的湿法刻蚀研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 对掺杂GaN的湿法刻蚀研究进行了总结,回顾了不同的湿法刻蚀技术,包括传统的酸碱化学刻蚀和电化学刻蚀.从掺杂GaN的生长过程、表面化学组分和光电性质出发,深入地分析了湿法刻蚀的特性,对比了不同...
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128. 多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理.通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响;总结出了多晶Si的酸腐蚀规律,得到...
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129. 高性能数字频率合成器的设计与实现刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 通过对直接数字频率合成技术的研究,采用单片机AT89S51控制DDS芯片AD9854设计出一种高性能直接数字频率合成器.该数字频率合成器采用并行通信的方式传输控制字,通过改变控制字来改变输出...
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130. 基于16位SAR模数转换器的误差校准方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要： 为了实现较高精度(16位及更高)的逐次逼近(SAR)ADC,提出了一种误差自动校准技术.考虑到芯片面积、功耗和精度的折中,采用了电荷再分配分段电容DAC结构,并采用准差分输入方式提高ADC的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年10期页码:摘要：
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132. Si纳米线场效应晶体管研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 从Si纳米线场效应晶体管(SiNWFET)的结构原理、Si纳米线的制作工艺以及器件电学性能的改善措施三个方面介绍了SiNWFET的研究进展.通过分析SiNWFET的漏极电压对沟道电势的影响,...
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133. Si基芯片光互连研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 综述了近年来Si基光互连,尤其是和微电子工艺兼容程度较高的芯片间和芯片内的光互连的进展.Luxtera公司已经率先实现了除光源外的所有光子器件的单片集成,IBM也提出并开始实施微电子学领域的...
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134. 微通道散热大功率半导体激光器研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 基于GaInAs/AlGaAs应变量子阱大光腔结构激光器芯片和无氧铜微通道热沉,采用In焊料烧结工艺,制作了976 nm大功率连续激光器单条.在20℃热沉冷却条件下,输入电流110 A时,输...
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135. 退火温度对Tb催化GaN纳米棒的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 用稀土金属铽(Tb)作催化剂,通过磁控溅射和退火氨化法成功制备出大量单晶GaN纳米棒,并研究退火温度对GaN纳米棒表面形貌、晶体质量和发光特性的影响.扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(X...
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136. PECVD制备非晶硅薄膜的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 实验采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在Si衬底上制备了非晶硅薄膜.研究了射频功率、PH,掺杂浓度等因素对薄膜电阻率以及应力的影响.实验结果表明,对于非掺杂非晶硅薄膜,当射频功率从...
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137. 氢化非晶硅薄膜H含量控制研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 氢化非晶硅薄膜(a-Si:H)是目前重要的光敏材料,而薄膜中的H含量及组态对薄膜的稳定性有着极其重要的影响.介绍了H对薄膜稳定性影响的原理,提出了控制薄膜中的H含量的必要性.分析了H在H稀释...
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138. 微压电式振动能量采集器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 给出了微压电式振动能量采集器的基本工作原理和物理模型.按照压电单元结构类型的不同,将其分为单一的直线型悬臂梁、直线型悬臂梁阵列、L型悬臂梁和圆形压电膜,分别讨论了各种类型的微压电振动能量采集...
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139. 微电子机械系统键合强度检测方法研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述.传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检...
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140. 纳米、亚微米的超窄脉宽微细电化学加工刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 通过分析超窄脉冲实现纳米、亚微米级精度微细电解加工的机理和特点,说明脉冲电源的脉冲宽度减小至纳秒时,可将提高电解加工精度的方法综合运用,如小间隙电解加工、低浓度电解液、加工间隙的实时检测和调...
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141. Si外延过程中图形漂移的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 给出了图形漂移的定义,综合介绍了埋层外延中图形漂移的监测方法,其中包括常规的磨角染色法和无损伤测量垂直和平行于参考面两个方向上图形线宽的变化比例法.结合不同面上的原予密度的不同,分析各晶向上...
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142. 太阳能电池单晶Si表面织构化的工艺改进刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对(100)晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na,PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制...
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143. 一种高性能CMOS采样/保持电路刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要： 提出了一种高性能CMOS采样/保持电路,它采用全差分电容翻转型的主体结构有效减小了噪声和功耗.在电路设计中提出了新型栅源电压恒定的自举开关来极大减小非线性失真,并同时有效抑止输入信号的直流偏...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年11期页码:摘要：
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145. 服务于IC产业的MEMS探卡刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用.分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需...
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146. 气体声表面波传感器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 主要从声表面波(SAW)结构和敏感膜的角度综述了SAW气体传感器的研究现状.重点分析了国外出现的换能器新型结构,对其优点进行了初步分析,并和传统的SAW气体传感器结构做了比较,指出这些新结构...
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147. 微气泡执行器强化微混合的实验研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 微尺度流动的雷诺数(Re)比较低,其混合主要通过扩散来完成,因此需要较长的距离与时间才能混合均匀.为实现微尺度低Re数流体的快速均匀混合,以甲醇及染色甲醇为工质,采用脉冲电压激励微铂膜产生可...
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148. 基于声表面波的微型液滴雾化器技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 采用微细加工技术在127.8°YX型LiNbO3压电基底上制造出周期为400μm的铜叉指结构的微型雾化器.该雾化器利用声表面波(SAW)对液滴表面产生的表面张力波作用实现对液滴的雾化.对叉指...
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149. 一种新型三自由度谐振式MEMS陀螺刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 针对谐振式MEMS陀螺检测带宽与检测灵敏度相矛盾的问题,根据两质量块谐振器具有对机械位移放大的特点,提出了一种新型结构的谐振式MEMS陀螺,采用单自由度驱动、双自由度检测,驱动模态谐振频率落...
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150. FIR数字滤波在MEMS加速度计中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 简要分析了MEMS加速度计应用模型中的噪声来源,介绍了FIR数字低通滤波器的设计方法,并用FPGA实现的FIR滤波器对MEMS加速度计的输出信号进行了实时滤波处理.通过对滤波前后时、频域信号...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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