论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 微纳电子技术期刊 >
微纳电子技术2010年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
分享
投稿
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
分享
文章浏览
目录
-
121. 干涉空间相位光刻对准方法研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法.简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光...
-
122. 锥形光纤与楔形光纤的耦合刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 用实验方法测量了楔形光纤与锥形光纤的耦合效率,作出耦合效率随楔形光纤的半楔角及锥形光纤半圆锥角的变化曲线.从实验结果可以看出,楔形与锥形光纤的耦合效率随半楔角增加而增大.当半楔角由15.0°...
-
123. pH值调节剂对Si片CMP速率的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 通过一系列实验研究了有机和无机pH值调节剂对Si片抛光速率的影响及其影响机理.使用有机碱调节抛光液的pH值,随着pH值的增大,Si片的CMP速率先增大后减小,pH值为10.85时,Si片的抛...
-
124. 半导体工艺线CAM及SPC的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年10期页码:摘要： 探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法.作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序--WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以...
-
125. 石墨烯基电子学研究进展(续)刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要：
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 分析了对铁电场效应晶体管漏极电流特性有影响的铁电材料参数,设计了具有单层和双层栅介质结构的铁电场效应晶体管,并进行了仿真研究.仿真结果表明:具有高Pr/低Pr栅介质结构的铁电场效应晶体管在饱...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 利用Airy函数和传输矩阵方法计算了不对称势垒厚度的InP基AlAs/InGaAs/AlAs DBS结构在偏压情况下的共振透射系数,并通过材料生长和器件工艺制作得到了共振隧穿二极管的直流I-...
-
128. SiGe纳米环的制备与电磁特性研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： SiGe纳米环、纳米螺绕环具有优异的电学、力学等性质,已成为非常重要的三维半导体纳米材料,在传感器、纳米电子学及纳机电系统中具有广阔的应用前景.简单介绍了制备SiGe纳米环、纳米螺绕环的方法...
-
129. 玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜.讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响.通过能谱(EDS)测试...
-
130. 在家用微波炉中合成四针状ZnO刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 将锌粉和石墨粉以一定比例混合放入家用微波炉中,在微波辐照下燃烧生成了白色松软的ZnO膜,将此薄膜用扫描电子显微镜(SEM)、能量损失谱(EDS)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射光谱(X...
-
131. 微通道尺寸对开通道电渗泵性能的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件.开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸...
-
132. 微纳传感技术在组织电生理研究中的进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 微纳传感技术在研究组织和细胞的电生理活动、揭示细胞网络属性、研究神经传导及药物安全性测试等方面展现了它独特优势.针对组织电生理检测的多种微纳传感技术及其特点进行了描述与评价,着重对多点实时监...
-
133. 一种新型MEMS可调滤波器的设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案.基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20 GHz的二阶带通可调滤波器模型.通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析.仿真结...
-
134. 静电式RF MEMS开关的可靠性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件.长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题.主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展...
-
135. 提高微结构表面在镀液中的润湿性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果.测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极...
-
136. ICP刻蚀在微加速度传感器制作中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了气体流量、射频功率和工作室气压设定值等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为40μm时深刻蚀的最佳工艺参数,即采用BOSCH工艺,压力设...
-
137. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要：
-
138. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要：
-
139. 纳米压印技术的最新进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 总结了纳米压印技术的最新进展,其中包括压印工艺、图形赋形方法以及纳米压印技术应用三方面最新的研究成果.在压印工艺的发展方面,大面积滚轴压印的发明最具有产业化意义,它不仅解决了常规平板压印很难...
-
140. 微纳米通道电场调控电渗流研究及控制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 在通道壁面垂直施加一个调控电场可以改变双电层电荷密度和Zeta电位势,实现对电渗流的调控.采用离子输运Nernst-Planck方程、液体流动Navier-Stokes方程、以及介电层-电解...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因.针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F...
-
142. 基于毛细管阀的微流体惯性开关建模与仿真刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 介绍了一种用水银液滴在变矩形截面的硅微通道中以流动的方式实现导通的微流体惯性开关,开关的加速度阈值决定于毛细管阀的几何形状、尺寸以及水银微液滴的体积等因素.基于Young-Laplace方程...
-
143. 基于磁流体的微泵的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 首先介绍了基于磁流体微泵的工作原理,并且根据Navier-Stokes公式推导出了磁流体在梯度磁场中所产生的驱动力大小.然后,回顾了磁流体微泵的发展历程,对各阶段磁流体微泵的产生进行了研究,...
-
144. 人体唾液葡萄糖生物传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 通过戊二醛交联法将葡萄糖氧化酶(GOD)固定在二茂铁(Fc)修饰的薄膜金电极上,制备了一种可用于检测人体唾液中葡萄糖含量的生物传感器.研究了不同扫描速度下二茂铁的电化学行为,以及工作电压、戊...
-
145. 引信MEMS延时保险机构性能仿真分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 引信保险机构是否具有延时功能以区分后坐跌落和发射两种不同环境是引信保险机构的关键性能指标之一.基于MEMS制造工艺,结合引信安保机构安全性能的设计准则,提出了一种具有延时解保功能的MEMS引...
-
146. 用于X波段移相器的RF MEMS开关设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关.该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27 V.利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电...
-
147. 静电刚度式谐振微加速度传感器的结构稳定性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 为了研究静电刚度式谐振微加速度传感器结构稳定的判据和影响其稳定性的因素,根据静电刚度式谐振微加速度传感器的结构原理,分析了传感器中质量块与音叉梁的运动和受力特点,建立了传感器中质量块与音叉梁...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响.为了使设计的梳齿谐振器频率符合应用要求,推导出了梳齿谐振器在正负侧壁倾斜角θ...
-
149. 纳米柱阵列传感器的结构优化设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年12期页码:摘要： 采用时域有限差分法(FDTD)对Ag纳米柱粒子构成的三角、方形和六角三种有限阵列排布方式下的局部表面等离子体共振(LSPR)传感特性进行了研究,讨论了三种阵列排布方式下栅格间距的变化对其消光...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
