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微纳电子技术2015年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 报道了颗粒表面带电量对电阻脉冲(RPS)法测量颗粒粒径的影响规律.利用微流控芯片颗粒差分电阻脉冲检测系统实验测得了磷酸盐缓冲液(PBS)、1.0 mmol/L的十二烷基硫酸钠(SDS)阴离子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 论述了扫描电子显微镜(SEM)应用的广泛性以及光栅样片用于校准扫描电子显微镜的重要性,从选材、图形设计及加工制作等几个方面设计并研制了微米级光栅样片.为方便校准扫描电子显微镜的不同放大倍率,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 强调了隧道结模型在Ⅲ-Ⅴ多结太阳电池(MJSC)分析和模拟仿真中的重要性.介绍了隧道结的基本概念,并根据重要性程度,对隧道结主要的几种隧穿机制以及每种隧穿机制对隧道结J-V特性的影响进行了阐...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 影响有机薄膜晶体管(organic thin-film transistor,OTFT)器件性能的主要因素中,栅绝缘层表面形貌特性和薄膜厚度等有着非常关键的作用,会直接影响有源层材料的分子排...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 应用时域有限差分法(FDTD)模拟计算了由金纳米棒和偶极纳米天线构成的复合结构的消光光谱、近场增强和电荷分布.研究结果表明,在金纳米棒复合结构中能够产生双重法诺共振效应现象,并且在不同的法诺...
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96. 组合式MEMS三维矢量水声传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 针对小体积水下装置平台对声目标空间定位的高精度需求,在单个二维硅微MEMS仿生矢量水声传感器的基础上,提出一种组合式MEMS三维矢量水声传感器,解决当前二维矢量水声传感器不能实现对声目标进行...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 基于Poisson-Nernst-Planck (PNP)模型,采用有限元法(FEM)耦合求解了双电层(EDL)电势分布和离子输运PNP方程、流体柯西动量方程和连续性方程以及幂律流体本构方程...
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98. 基于流动聚焦结构的微液滴形成机理刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 基于COMSOL Multiphysics 4.3的两相流模型,通过数值模拟研究了基于流动聚焦结构微通道内液滴形成机理及影响因素.通过水平集方法考虑表面张力的影响,实现对油-水界面的追踪,获...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 通过高温烧结技术得到了总体尺寸为15 mm×15 mm×0.6 mm的低温共烧陶瓷(LTCC)转接基板,并通过丝网印刷方式将转接焊盘的图形转移到经过高温烧结的LTCC转接基板上,形成金凸点和...
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100. 基于小波包络提取法的白光干涉测量系统刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 为实现对微纳尺寸器件的非接触、无损伤的场式测量,基于纳米测量机(NMM)搭建了白光干涉测头.对测量系统的横向、纵向测量范围及分辨率进行了研究.测量系统集成了Michelson 显微干涉物镜,...
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101. 碱性铜精抛液中活性剂对平坦化效果的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 研究了碱性条件下铜精抛液中非离子表面活性剂对平坦化效果的影响,通过改变精抛液中活性剂的浓度,讨论了表面活性剂对精抛速率、精抛后碟形坑延伸情况、晶圆表面非均匀性以及表面形貌的影响.实验表明:非...
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102. UV-LIGA技术制备频率选择表面的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 针对未来空间毫米波亚毫米波准光技术的应用,对其核心器件频率选择面(FSS)的加工技术进行了研究.通过CST MWS软件对118 GHz频率选择表面进行了仿真,研究了线宽、周期长度、结构片厚度...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 主要研究了螯合剂FA/O Ⅱ在阻挡层抛光中对去除速率和表面形貌的影响.通过对开路电压和塔菲尔曲线的检测,研究了Cu在螯合剂溶液中的溶解过程,结果表明FA/O Ⅱ对Cu有很强的螯合能力,能够提...
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104. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年9期页码:摘要：
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105. 石墨烯材料、器件与电路的研究现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 简单介绍了石墨烯优异的电学特性及主要国家的发展规划.详细论述了石墨烯材料制备技术的发展现状,如SiC外延法和CVD法的优缺点和目前的技术水平,其中SiC外延法生长的石墨烯尺寸达4英寸(1英寸...
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106. 天然色素染料敏化的太阳电池性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 利用黑米、辣椒的植物染料分子及其混合的染料分别敏化了TiO2薄膜电极,制备出太阳能光化学电池.测试发现黑米的染料分子与TiO2膜有相互键合作用,使吸收峰值从568 nm移动到599 nm;黑...
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107. a-SiNxOy薄膜局域态激子发光刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 利用等离子体增强化学气相沉积方法在单晶硅衬底上制备出非晶氮氧化硅(a-SiNxOy)薄膜.基于结构表证、光致发光(PL)光谱、温度依赖性PL光谱和光致激发(PLE)光谱,对a-SiNxOy薄...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 通过水热模板法制备得到了In2O3亚微空心球,并研究了其光催化性能和电化学性能.研究发现,空心球由直径为10～20 nm的C-In2O3纳米颗粒聚集而成,其壳层厚度为50 nm左右,表面具有...
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109. 不同拓扑衍生结构微混合器的仿真与分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 采用微电子机械加工技术,以简单易加工的传统T型直通道微混合器为基础,提出了由其衍生的3种新型的微器件结构,即T型方波通道、T型方波通道带扩展腔和T+Y型四通道微混合器.利用有限元方法建立目标...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 研究了平行板微管道内线性黏弹性流体的电磁流动,其中线性黏弹性流体的本构关系是由Jeffrey流体模型来描述的.利用分离变量法,在无滑移条件和滑移条件下,求解了线性化的非定常柯西动量方程和Je...
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111. 圆片级封装中硅帽的设计和加工刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 为了提高微电子机械系统(MEMS)器件的成品率和集成度,介绍了一种应用于圆片级封装的硅帽结构.重点介绍了该硅帽结构的设计和加工方法.分析了圆片级封装(WLP)采用侧引线和通孔引线两种方式的优...
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112. 基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 利用UV-LIGA技术制作毫米波腔体滤波器SU-8主模结构,通过聚二甲基硅氧烷(PDMS)对所制作的SU-8主模结构进行一次复制,得到多个相同的负模结构,将负模结构浸泡在羟丙基甲基纤维素(H...
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113. 薄膜体声波谐振器的测试与表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 为了表征所制备的L波段通孔型AlN薄膜体声波谐振器(FBAR)的性能,使用射频探针台和矢量网络分析仪测得FBAR的S参数,扫频步长为1 MHz;为了避免使用3 dB带宽法计算FBAR Q值产...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 在工作压力为2 psi(1 psi =6894.76 Pa)、抛光头转速为60 r/min、抛光盘转速为65 r/min、流量为150 mL/min的条件下,对3英寸(1英寸=2.54 cm...
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115. CMP中新型碱性阻挡层抛光液的性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 介绍了一种不舍腐蚀抑制剂苯并三氮唑(BTA)和氧化剂的弱碱性阻挡层抛光液.通过测量抛光液的pH值、Zeta电位、黏度、粒径大小及粒径分布随放置时间的变化来研究抛光液的稳定性;该抛光液与商业阻...
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116. 真空提纯对n型高阻区熔硅单晶研制的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 采用真空提纯工艺对棒状多晶硅原料进行了区熔(FZ)提纯,之后对提纯后的多晶硅进行单晶生长.通过检测每次提纯后的多晶硅和最终生长成的硅单晶的电阻率变化,得到了真空提纯工艺对电阻率变化的影响规律...
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117. 基于碳纳米管冷阴极X射线管电子源研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 简要介绍了场致发射的原理及其相比于热电子发射的优势,阐述了碳纳米管场发射的性能和基于碳纳米管(CNT)场发射X射线管电子源的典型结构,重点讨论了三极式与二极式碳纳米管冷阴极X射线管电子源的最...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： TiO2纳米线因其一维形态所致的快速电子传导及光散射而成为制备染料敏化太阳电池(DSSC)的一种具有良好潜能的材料.纳米线的长度及分散性是影响DSSC效率的主要因素.制备出了TiO2分散长纳...
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119. 石墨烯掺杂研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 石墨烯被认为是在后摩尔时代可能取代硅成为构筑集成电路的主要材料,近年来成为研究热点.然而要使石墨烯在电路中得到实际应用,其稳定、可控的掺杂至关重要.按照不同掺杂机理梳理了近年来关于掺杂石墨烯...
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120. ZnO纳米线的制备及其气敏特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 采用水热法制备了ZnO纳米线,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其物相及微观形貌进行了表征和分析.测试结果表明,ZnO纳米线的平均直径和长度分别...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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吉林大学学报(信息科学版)
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