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微纳电子技术2017年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 基于硅的压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术研制了一种汽车碰撞试验用低阻尼、宽频响的加速度传感器.为了满足小体积和高性能的要求,传感器采用了L型梁-质量块结构;并设计了一种全方位抗过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 开展了一种基于MEMS工艺的微波/毫米波薄膜负载电阻的结构设计和工艺实现,该负载电阻选择TaN作为薄膜材料,高阻硅为基底材料,仿真设计并优化了三种新型结构,给出了一套MEMS TaN薄膜负载...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 封装是高量程微机械加速度传感器高可靠性的重要保障,而灌封工艺是高量程微机械加速度传感器封装流程中一个非常重要的环节,对实现加速度传感器产业化具有重要的影响.根据一种自制的、量程为XX的压阻式...
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34. 紫外纳米压印技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 传统的紫外纳米压印(UV-NIL)虽然不受曝光波长的限制,但是存在气泡残留、压印不均匀、模具寿命短等问题.为解决这些问题产生了各种新型UV-NIL工艺,针对这些工艺阐述了紫外纳米压印技术工艺...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 采用磁控溅射法制备低温度系数CrSi薄膜电阻,研究了制备过程中溅射条件对CrSi薄膜电阻温度系数的影响,包括溅射功率、衬底加热温度、工艺气体体积流量和反应气体体积流量.这些条件通过改变CrS...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年5期页码:摘要： 干法刻蚀是压阻式加速度传感器制备中的关键工艺,金属掩膜层的图形化对刻蚀结果尤为重要.金属掩膜层图形化的效果影响着压敏电阻条的刻蚀效果,进而影响传感器性能.利用磁控溅射在Si和SiC衬底上分别...
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37. 全自旋逻辑电路的仿真模型刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 为了便于对由全自旋逻辑器件构建的逻辑电路进行仿真和验证,基于Landau-Lifshitz-Gilbert方程建立了纳磁体磁矩动力学模型,基于自旋注入和自旋传输机理建立了自旋传输模型,并分别...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 阻变存储器(RRAM)是下一代最有潜力的非易失性存储器.利用磁控溅射、电子束蒸发和离子束溅射方法制备了一种Ag/VOx/Al结构的RRAM.使用半导体参数分析仪(Agilent B1500A...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 为进一步提升红外气体传感器的性能,提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源,对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究,以期大幅提高光源的辐射效率,降低功耗...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 采用经典分子动力学(MD)方法对几种基于分支结构碳纳米管(CNT)的纳米销进行安装过程模拟,比较了两种安装方式,重点研究了双支管纳米销的安装可行性及控制端长度对双支管纳米销安装性能的影响.研...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 为了研究Eu3+掺杂MoS2薄膜的光电特性,采用气相运输沉积法在p-Si衬底上沉积MoS2薄膜,并利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应仪、分光光度计和光致发光光谱仪研...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状.介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性.分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 针对大多数虚拟现实体验中的人物运动主要靠手柄按键操作的问题,设计了一种基于佩戴者自身步态运动的虚拟现实系统,采用低成本、普通精度的MEMS惯性传感器采集佩戴者的足部姿态信息,从而实现无需外部...
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44. 硅腔体MEMS环行器的设计与制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 设计制作了一种基于MEMS工艺的硅腔体环行器.该环行器以高阻硅为衬底材料,基于基片集成波导(SIW)技术的传输理论,采用体硅MEMS工艺和低损耗金属化技术实现了硅通孔及通孔金属化的制备.设计...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 单电子晶体管(SET)可用作超灵敏电荷计,将SET集成到原子力扫描探针上,可得到对被测样品的表面形貌和电荷空间分布扫描成像.介绍了一种硅基台阶型原子力扫描探针与SET的集成方案.一对共漏极的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 在微流控芯片中采用水热法合成ZnO纳米棒.使用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分别对ZnO纳米棒的微观形貌和晶体结构进行分析和表征.结果表明,在微流控芯片中制备的致密的ZnO纳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 以薄膜体声波谐振器(FBAR)的背腔刻蚀为研究背景,研究了光刻工艺参数设置与光刻图形转移效果的关系.分析了紫外曝光剂量大小对光刻图形面积和边角曲率的影响,优化得到最佳工艺流程,以AZ4620...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年6期页码:摘要： 针对弹载陀螺在发射过程中产生较大过载导致陀螺零点和灵敏度发生变化的问题,提出了一种利用地磁测量信息对陀螺进行在线标定的方法.该方法是利用最小二乘法对地磁场提供的滚转角信息与陀螺的数据进行拟舍...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO2/Si衬底生长出MoS2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS2的存在;基于CVD生长的单层MoS2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 采用水热法合成氧化铁-石墨烯/二硫化钼(Fe2O3-rGO/MoS2)复合材料.使用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对复合材料的晶体结构和微观形貌进行分析和表征.测试结果表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 采用经典分子动力学方法探索了电场强度和富勒烯纳米颗粒浓度对水-富勒烯纳米流体在石墨烯纳米孔隙中Couette剪切流动特性的影响机理.结果表明:当剪切应变率超过临界剪切应变率时,边界滑移速率迅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 基于负电晕放电原理的气体传感器利用局部高压电场将目标气体电离,根据电离特性对气体进行识别.采用MEMS技术制备硅尖阵列电极,利用电喷ZnO纳米颗粒对电极表面进行修饰,结合金平板正电极构建了多...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 综述了光泵原子磁力仪的发展过程及技术指标,介绍了基于MEMS的光泵原子磁力仪的现状,总结了光泵原子磁力仪的主要应用.对基于MEMS技术的光泵原子磁力仪的发展应用前景提出了建议,基于MEMS技...
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54. 电容式加速度传感器设计及工艺加工刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 针对精确制导的应用需求,设计了一种量程为100g“三明治”电容式加速度传感器,通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析,并通过Matlab分析、优化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 针对轴对称壳形振动陀螺的工作机理与振动特性,提出了一种新颖的全对称U型梁MEMS环形波动陀螺,并分析了其工作原理、振动特性与敏感工作方式.在此基础上应用AN-SYS有限元分析软件建立了该环形...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 液滴的操控技术成为当今微流体技术的重要发展方向,气-液、气-固、固-液等界面问题日益突出.首先通过实验方法,研究了在水平固体表面液滴由温度梯度引起的热毛细迁移行为,从理论方面分析了温度梯度、...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： 在Co化学机械抛光(CMP)过程中,Co的化学反应活性强于Cu,Co/Cu界面存在较大的电化学腐蚀电位差.采用动电位扫描电化学技术,表征金属铜钴表面的电化学反应.采用降低Cu/Co接触腐蚀电...
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58. 碳化硅ICP刻蚀的掩膜材料刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年7期页码:摘要： SiC材料由于具有非常强的化学稳定性与机械硬度,不能用酸或碱性溶液对其进行腐蚀,在MEMS制备工艺中,通常采用干法刻蚀来制备SiC结构.针对干法刻蚀中遇到的问题,比较了光刻胶、Al和Ni等多...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 主要利用电致发光的实验手段,研究了极化效应对InGaN基LED器件发光特性的影响.实验中发现,InGaN基LED器件的峰位随注入电流的增加产生了先蓝移后红移的现象,蓝光和绿光LED分别蓝移3...
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60. 聚硅氮烷旋涂介电材料研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 聚硅氮烷作为旋涂介电层的基础材料,可通过旋涂法、特定条件下转化来制备SiO2介电层,工艺简单,介电层性能优异,有望克服传统化学气相沉积方法的缺点,在微电子领域具有重要的应用价值.系统总结分析...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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