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微细加工技术2002年第2期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： PREVAIL作为下一代电子束投影曝光技术,采用可变轴浸没透镜,对以硅为支架的碳化硅薄膜进行投影微缩曝光.在1mm2子场的情况下,运用步进扫描曝光方式,在100nm临界尺寸下具有较高的产量,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 介绍了快速成型技术及其研究方向,在研究微机电系统与微细加工技术的基础上,对比分析了一些基于快速成型技术的微细加工方法的优缺点及最新研究成果.并且结合我们目前所进行的激光化学液相沉积快速成型技...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极-锆/钨(ZrO/W)阴极.这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面,采用特别的涂覆法或蒸镀法,形成含ZrO膜层,并经特殊处理后得到的.实验...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 介绍了一种自主开发的复杂微光刻图形版图绘制系统.该系统能根据用户的要求自动成组地批处理各种圆环、螺旋线、椭圆环、扇形、条形码等图形,以及根据用户输入的任意表达式来生成特殊形状图形,同时它具有...
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5. 操纵原子束的激光系统研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定.用其结论设计出了焦距193.3mm,F/#=1.9,λ=0.67μm的扩束准直光...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究设计了一种亚稳态氦原子束源系统.采用电子激发方法产生亚稳态氦原子,利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束,通过对该原子束的纵向速度进行选择,以及利用激光冷却来实现横向准直,制备出准单色亚稳态氦原子...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶.它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构.为电铸出金属微结构,通常需要采用金属基底.但SU-8胶对金属基底的结合力通常不好,因而限制了其深宽...
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8. 反应溅射中的溅射产额研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 分析了溅射产额的影响因素,并建立了产额模型.该模型能反映各种宏观工艺参数,便于工程应用.对钛靶的计算结果表明与实验结果相符.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 研究了用SiO2+Al作掩模,SF6+O2混合气体等离子体对Si的横向刻蚀,其结果表明,在SF6+O2等离子体气氛中,Al是很好的保护膜,可以在待悬浮器件下形成大的开孔.因此,预计用这种技术...
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10. 超精密定位工作台刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍.并分析了它们各自的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 利用多孔硅形成的选择性,在指定的硅衬底区域制作多孔硅作牺牲层.提出了先制作微结构,后进行阳极氧化,形成多孔硅牺牲层的工艺,由此制备出了良好的悬空结构,并对多孔硅形成的选择性、掩模材料和工艺条...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础上,结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列,新...
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13. 基于硅结构的微流体控制系统刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 基于硅结构的微流体控制系统(μFCs)是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域.主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理...
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14. LIGA技术制作微反应器的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 通过LIGA技术与微细电火花技术相结合,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围.利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电...
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16. 平面型场发射显示器的自聚焦效应刊名： 微细加工技术发表期刊： 2002年2期页码:摘要： 用有限差分法分析了平面型场发射显示器中的电场分布,给出了发射电子的运动轨迹,证明了在薄膜结构的平面阴极器件中存在自聚焦效应.聚焦效果取决于上电极宽度、上电极电压、阳极电压、以及阳极和上电极的...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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