第3页_微细加工技术2006年出版文献-钛学术文献服务平台

文献导航

检索期刊

出版文献量（篇）

672

总下载数（次）

微细加工技术

投稿

Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主办单位：

中国电子科技集团公司第48研究所

期刊荣誉：

国家一级检索刊物用刊 美国工程信息公司Ei数据库收录

ISSN：

1003-8213

CN：

43-1140/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

地址：

湖南省长沙市

出版文献量（篇）

672

总下载数（次）

文章浏览

热门刊内文献

年度刊次

61. 现场总线和工业以太网智能控制系统

作者：何花刘德明柏玲袁晓红

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年4期

页码: 63-64

摘要：对工业现场总线--Profibus-DP系统和工业以太网--Hirschmann系统的应用作了说明,详细论述了系统构成以及硬件和软件配置,提出了原料场系统控制方式和智能控制算法.
62. EUV光刻中激光等离子体光源的发展

作者：张福昌李艳秋

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 1-7,12

摘要：简述了获得极紫外光源的途径,系统介绍了激光等离子体(LPP)光源的发展历程,对当前Cymer公司研制的极紫外光刻设备所需LPP光源的最新研究进展做了详细阐述,最后对光源的整体发展给予了总结和...
63. SPM数据可视化技术研究

作者：左燕生方光荣李敏林云生韩立

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 8-12

摘要：介绍了一套基于数字图像处理技术和OpenGL技术的数据可视化方案.该方案可以用于各种类型的SPM仪器的二维和三维成像处理.针对SPM应用首次提出了"高度剔除"去噪算法以及"水平线最小二乘调整...
64. 电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究

作者：卢文娟孔祥东张玉林郝惠娟

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 13-17

摘要：从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法.通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂P...
65. 衍射光学元件在无掩模光刻中的应用

作者：佟军民李爱敏胡松谢常青

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 18-23

摘要：描述了波带片/多孔透镜阵列无掩模光刻方法,着重介绍了波带片的几何结构特点和衍射聚焦特性,研究了影响光刻分辨率的因素和使用位相型波带片代替振幅型波带片提高衍射效率的设计方法,讨论了高级衍射焦点...
66. 化学修饰溶胶-凝胶法制备功能薄膜微细图形

作者：方俊王秀峰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 24-26,35

摘要：介绍了一种功能薄膜微细图形制备新方法-化学修饰溶胶-凝胶法.该方法的特点是在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而赋予薄膜以感光特性.利用该特性制备了微细图形,简化了工艺流程,并可以获得具...
67. 激光微细熔覆快速原型制备

作者：曾晓雁李慧玲

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 27-32

摘要：传统上厚膜电容的制备由于采用了丝网技术、烧结工艺、有限的匹配温度特性材料,使得要实现高容量、低损耗、高频性就必须同时改变材料的成分、制备工艺和技术, 这是无法同时达到的.而采用激光微细熔覆快...
68. 超细TiO2颗粒表面包覆CeO2膜的研究

作者：杨成邹建新高仕忠

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 33-35

摘要：对TiO2颗粒表面进行了CeO2包覆.当超细金红石TiO2水性颗粒分散体浆料保持温度为70 ℃和pH值为8.8时,加入CeO2(CeO2以硝酸铈溶液的形式加入),然后调节pH值为9.5,老化...
69. MEMS技术制作的螺线管微电感

作者：周勇方东明王西宁赵小林

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 36-40

摘要：考虑和分析了螺线管微电感的几何结构参数对微电感性能的影响,利用MEMS技术制作了四种不同几何结构的高性能射频螺线管微电感.这些微电感采用铜线圈,以减小线圈寄生电阻,且制作工艺简单,成本低,与...
70. 基于MEMS的无阀泵的数值仿真与参数设计

作者：冯志庆吴一辉白兰

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 41-46

摘要：扩张管和收缩管的流量和效率是无阀泵工作性能的决定因素,运用有限元分析软件Ansys/Flotran,对扩张管和收缩管的结构对流量和效率的影响进行了数值分析,计算结果表明,入口修圆的扩张管和收...
71. 压电型微悬臂梁制备中RIE刻蚀硅工艺的研究

作者：刘景全徐东徐峥谊方华斌董璐蔡炳初

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 47-50,54

摘要：介绍了一种压电型微悬臂梁的制作工艺流程,重点研究了其中硅的反应离子刻蚀(RIE)工艺,分析了工艺参数对刻蚀速率、均匀性和选择比的影响,提出通过适当调整气体流量、射频功率和工作气压,以加快刻蚀...
72. 基于UV-LIGA技术的微注塑金属模具的工艺研究

作者：于同敏刘冲刘海军杜立群秦江

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 51-54

摘要：介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法--无背板生长法,它是利用负性厚SU-8光刻胶,通过低成本的UV-LIGA表面微加工工艺,直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的.讨论了SU-8胶与基底的...
73. 微拾振器压电悬臂梁结构的设计与测试

作者：刘景全徐峥谊方华斌王莉董璐蔡炳初陈迪

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 55-58,64

摘要：提出了一种压电悬臂梁结构的微拾振器,利用有限元法计算了结构的固有频率和电压输出,以设计适合具体应用环境的器件结构.采用MEMS技术制备了器件原型并进行了试验测试.研究表明,所制备的器件在加速...
74. 劈刀和肋环夹持工况对超声键合换能系统电学特性的影响

作者：广明安李涵雄韩雷

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年5期

页码: 59-64

摘要：通过实验分析了肋环夹持松紧度和劈刀存在两个因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响规律.对换能系统在悬挂有无劈刀和夹持8个松紧度等各个情况下进行谐振频率附近的导纳圆测量,确定换能系统等效电路...
75. 微电铸技术及其工艺优化进展研究

作者：于中尧于军李冠男罗磊郭旻黄成军

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 1-5,27

摘要：随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力.然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展.因此,对微电铸工艺进...
76. 电子束曝光数据格式的改进设计与实现

作者：刘伟张今朝李晓娜韩立魏淑华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 6-10

摘要：根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC+ +6.0开发环境实现了EDF格式文件...
77. 电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究

作者：冯圣玉卢文娟孔祥东张玉林

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 11-14,27

摘要：穿透深度预测是电子束液态曝光技术中的一个重要课题.采用对比分析的方法对Monte Carlo模拟和Grun公式在预测液体抗蚀剂穿透深度中的适用性进行了研究,得出了可以使用这两种方法对高能电子...
78. 用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制

作者：巴音贺希格李英海齐向东

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 15-17

摘要：为了解决衍射光栅的表面精度,提高衍射效率,分析了衍射光栅刻划中金刚石刻划刀的定向与耐用度的关系,围绕光栅刻划刀磨制过程中如何解决振动这一关键问题,从工艺方面进行了探讨.通过确立金刚石刻划刀的...
79. 用DMD灰度曝光法产生连续面形微结构

作者：杜惊雷郭小伟陈铭勇马延琴

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 18-21

摘要：利用空间光调制器光强的精确调制作用,把数字微反射镜阵列(DMD)作为灰度图形发生器,经一次曝光及优化显影等后处理过程,可制作出具有连续面形的微光学元件.用上述方法在实验上获得了微透镜阵列,并...
80. 光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计

作者：吴运新王永华邓习树

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 22-27

摘要：为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩膜台宏动平台的控制问题,采用直线电机设计了高速、高精密步进扫描光刻机的掩模台模拟宏动定位系统,并建立了整个直线运动平台的数学模型.根据该...
81. 基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计

作者：乔治周洪波许宝建赵建龙金庆辉

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 28-31

摘要：设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采...
82. F-DLC疏水性能的研究

作者：刘雄飞张德恒齐海兵

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 32-35,47

摘要：用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法沉积氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.俄歇电子能谱分析表明,制备的碳膜为典型的类金刚石结构.接触角测量仪测量了沉积在玻璃基底上的F-DLC薄...
83. 微纳工艺中防粘连自组装薄膜技术的研究

作者：刘景全孙洪文陈迪顾盼

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 36-39

摘要：研究在硅基表面形成1,1,2,2 H过氟癸基三氯硅烷防粘自组装膜的方法和特性.成功地在硅基表面形成了防粘连自组装薄膜,从浸润角、表面能、薄膜成分和表面粗糙度几个角度对该薄膜进行了分析,证实薄...
84. 短讯

作者：

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 39

摘要：
85. 陶瓷微结构的制作研究

作者：刘刚朱学林熊瑛王俊田扬超郭育华

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 40-43

摘要：研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法.首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具.模压后,溶去模具,在1 700 ℃烧结成型.利用这种工艺,获得了宽度23 μm,...
86. ICP在仿壁虎刚毛硅模版制作中的应用

作者：倪林孔德义梅涛

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 44-47

摘要：简单介绍了ICP(inductively coupled plasma)中的两种刻蚀工艺,阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎刚毛阵列的方法,即利用ICP设备,采用低温(CRYO)工艺,在...
87. 用于微流控芯片的PDMS微混合器工艺和数值分析

作者：张卫平牛志强陈实陈文元

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 48-51,62

摘要：介绍了一种用软光刻技术制作微流芯片上PDMS微混合器的工艺.首先用SU-8胶制作微模具,然后用复制压模法制作出PDMS微通道,最后用紫外光表面改性实现PDMS材料和玻璃基片的键合.阐述了微混...
88. 满足自锐效应的AFM探针针尖加工

作者：刘芳吴亚雷褚家如赵钢

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 52-57,62

摘要：根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型, 设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验.通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、...
89. MEMS器件牺牲层腐蚀释放技术研究

作者：丁德勇叶甜春景玉鹏欧毅石莎莉董立军陈大鹏

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 58-62

摘要：以非制冷红外焦平面阵列和热剪切应力传感器为代表,分析了这两种典型的薄膜悬浮结构和带空腔结构的MEMS器件在进行二氧化硅牺牲层的腐蚀和最终结构释放过程中的各种问题.根据二氧化硅的腐蚀机理,指导...
90. 应用于扩散工艺中的闭管扩散技术

作者：向小龙彭志虹朱晓明罗亮罗卫国赵加宝

刊名：微细加工技术

发表期刊： 2006年6期

页码: 63-64

摘要：介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导...

微细加工技术基本信息

刊名	微细加工技术	主编
曾用名
主办单位	中国电子科技集团公司第48研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种	chi
ISSN	1003-8213	CN	43-1140/TN
邮编		电子邮箱
电话		网址
地址	湖南省长沙市