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微细加工技术2006年第2期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
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总被引数（次）
4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 介绍了深亚微米CMOS集成电路中研制的关键技术--钨化学机械抛光,比较了化学机械抛光技术与传统反应离子回刻法在金属层与层之间的垂直连接中的优缺点,并指出了钨化学机械抛光工艺中尚存的一些问题,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 传统的卢瑟福弹性散射模型不适用于描述电子和原子序数较高(Z＞4)的材料的弹性相互作用.给出一种模型,此模型采用Thomas-Fermi-Dirac(TFD)势能作为原子势,利用波恩近似法解薛...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 为了更精确地确定邻近效应参数,借助优化的电子散射模型,利用改进的Monte Carlo算法模拟了电子束在固体中的散射过程,得到了不同曝光条件下抗蚀剂中的能量沉积分布.利用最小二乘非线性曲线拟...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等.经实验证明,该控制系统稳定、可靠.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 提出了一种新的制作变间距光栅的方法,即利用软刻蚀在厚度变化的硅橡胶(PDMS)上制作等栅距的光栅结构,然后对其拉伸加载,使其成为变间距光栅.对所制作好的变间距光栅采用基于衍射原理的逐点扫描法...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 由于浸没液体和大数值孔径的引入,杂散光对光刻性能的影响更为显著和复杂,对杂散光进行分析和控制是获得良好光刻性能的关键之一.利用Prolith 9.0软件研究了不同数值孔径(NA)条件下,浸没...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要：
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 为了提高金刚石薄膜电学和辐射响应性能,在石英钟罩式MPCVD装置中,采用微波空气等离子体刻蚀处理来提高金刚石薄膜的纯度、电阻率和辐射剂量计响应性能,研究了不同的微波功率、气体流量、处理时间对...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 以稀土元素Pr薄膜为缓冲层,采用低功率射频磁控溅射法在室温玻璃衬底上成功制备了(111)强烈取向的Pt薄膜,研究了退火热处理工艺对Pt薄膜择优取向及晶粒尺寸的影响规律,并对Pt(111)取向...
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11. 高温氨化合成GaN微晶刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 分别利用Ga2O3粉末和Ga2O3凝胶作为Ga源,采用NH3为N源,在950℃下,分别将两种反应物与流动的NH3反应20 min合成了GaN微晶.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SE...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 为满足微全分析系统集成化的发展要求,设计制造了一种微型温控芯片.该芯片以硅为基底,采用MEMS工艺集成了加热和温度传感双重功能.介绍了芯片的制作工艺,并对加热器和温度传感器的性能进行测试和分...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 利用KOH溶液腐蚀在(110)硅片上制作2×2 MEMS光开关,微反射镜表面光滑且垂直度较好,其质量高于用同样方法在(100)硅片上制作的反射镜,但是却存在自对准V型槽难以实现的问题.依据(...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 介绍了一种用于微生化分析仪的PDMS(polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微混合器的模压制备,由于其兼有混合器与比色皿的功能,因此,对其透光及混合性能进行了分析.经实验...
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15. 微反应器中的微制作技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 探讨了微反应器制作技术的创新与优化,分析了微反应器的基本结构与常用材料,总结了它的三种主要加工技术,即硅体微加工、超精密加工与LIGA工艺,以及四种常用的连接方法,即键合技术、高能束焊接、扩...
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16. 微陀螺仪的真空回流封装工艺研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 利用热传导理论,对微陀螺仪在真空回流炉中的封装过程进行了数值模拟,得到了当焊料熔化时,加热台台面与微陀螺仪的焊料层的温度梯度值约为30℃,然后根据数值计算结果设计,并在自行研制的真空回流封装...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要：
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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